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1. (WO2007049524) COMPOSITION DE RESINE PHOTOSENSIBLE POSITIVE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/049524    N° de la demande internationale :    PCT/JP2006/320965
Date de publication : 03.05.2007 Date de dépôt international : 20.10.2006
CIB :
G03F 7/023 (2006.01), G03F 7/004 (2006.01), G03F 7/40 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
Déposants : Asahi Kasei EMD Corporation [JP/JP]; 23-7, Nishi-shinjuku 1-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1600023 (JP) (Tous Sauf US).
SHIBUI, Satoshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : SHIBUI, Satoshi; (JP)
Données relatives à la priorité :
2005-311248 26.10.2005 JP
2006-191014 12.07.2006 JP
Titre (EN) POSITIVE PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION
(FR) COMPOSITION DE RESINE PHOTOSENSIBLE POSITIVE
(JA) ポジ型感光性樹脂組成物
Abrégé : front page image
(EN)A positive photosensitive resin composition characterized by containing, per 100 parts by mass of repeating-unit-having hydroxypolyamide, 1 to 50 parts by mass of photoacid generator and 0.01 to 70 parts by mass of terpene compound. A positive photosensitive resin composition excelling in positive lithography performance, such as sensitivity and resolution, can be provided by combining a hydroxypolyamide of specified structure with a terpene compound.
(FR)La présente invention concerne une composition de résine photosensible positive caractérisée en ce qu’elle contient, pour 100 parties en masse d’hydroxypolyamide ayant des motifs répétitifs, de 1 à 50 parties en masse d’un générateur de photoacide et de 0,01 à 70 parties en masse d’un composé de type terpène. On peut préparer une composition de résine photosensible positive excellente en termes de performance de lithographie positive, telle que la sensibilité et la résolution, par la combinaison d’un hydroxypolyamide de structure spécifique avec un composé de type terpène.
(JA)本発明により、繰り返し単位を有するヒドロキシポリアミド100質量部に対して、光酸発生剤1~50質量部、テルペン化合物0.01~70質量部、を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物が提供される。特定の構造を有するヒドロキシポリアミドにテルペン化合物を組み合わせることで、感度、解像度といったポジ型のリソグラフィー性能に優れたポジ型感光性樹脂組成物を提供することができる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)