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1. (WO2007049462) FEUILLE DE NETTOYAGE, ÉLÉMENT DE TRANSFERT PRÉSENTANT UNE FONCTION NETTOYANTE, ET PROCÉDÉ DE NETTOYAGE D'UN DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/049462    N° de la demande internationale :    PCT/JP2006/320366
Date de publication : 03.05.2007 Date de dépôt international : 12.10.2006
CIB :
H01L 21/304 (2006.01), A47L 25/00 (2006.01), B08B 1/00 (2006.01)
Déposants : NITTO DENKO CORPORATION [JP/JP]; 1-1-2, Shimohozumi, Ibaraki-shi, Osaka 5678680 (JP) (Tous Sauf US).
UENDA, Daisuke [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
ARIMITSU, Yukio [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
TERADA, Yoshio [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
AMANO, Yasuhiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MURATA, Akihisa [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : UENDA, Daisuke; (JP).
ARIMITSU, Yukio; (JP).
TERADA, Yoshio; (JP).
AMANO, Yasuhiro; (JP).
MURATA, Akihisa; (JP)
Mandataire : MOMII, Takafumi; 7th Floor, Chiyoda Building Bekkan 6-1-2, Nishitemma Kita-ku, Osaka-shi Osaka 530-0047 (JP)
Données relatives à la priorité :
2005-309764 25.10.2005 JP
Titre (EN) CLEANING SHEET, TRANSFER MEMBER PROVIDED WITH CLEANING FUNCTION, AND METHOD FOR CLEANING SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
(FR) FEUILLE DE NETTOYAGE, ÉLÉMENT DE TRANSFERT PRÉSENTANT UNE FONCTION NETTOYANTE, ET PROCÉDÉ DE NETTOYAGE D'UN DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
(JA) クリーニングシート、クリーニング機能付搬送部材および基板処理装置のクリーニング方法
Abrégé : front page image
(EN)A transfer member provided with a cleaning function, which has excellent foreign material removing performance and transfer performance and removes foreign materials having a prescribed particle diameter with especially high efficiency. The transfer member is provided with a transfer member (50) and a cleaning layer (20) arranged at least on one surface of the transfer member. The cleaning layer has an uneven shape having an arithmetic average roughness (Ra) of 0.05μm or less and a maximum height (Rz) of 1.0μm or less. Preferably, a substantial surface area of the cleaning layer per a flat surface of 1mm2 is 150% of a substantial surface area of a silicon wafer mirror surface per a flat surface of 1mm2.
(FR)La présente invention concerne un élément de transfert présentant une fonction nettoyante, qui présente d'excellentes performances de retrait de matériaux étrangers et d'excellentes performances de transfert et retire les matériaux étrangers présentant un diamètre de particule prédéterminé de façon particulièrement effice. L’élément de transfert comporte un élément de transfert (50) et une couche de nettoyage (20) disposée sur au moins une surface de l’élément de transfert. La couche de nettoyage comporte une forme inégale présentant une rugosité moyenne arithmétique (Ra) de 0,05µm ou moins et une hauteur maximale (Rz) de 1,0µm ou moins. De préférence, une aire de surface substantielle de la couche de nettoyage pour une surface plane de 1mm2 représente 150% d'une aire de surface substantielle d'une surface miroir d'une plaquette de silicium pour une surface plane de 1mm2.
(JA)not available
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)