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1. (WO2007048485) PROCEDE POUR MESURER L'EPAISSEUR DE FEUILLES MULTICOUCHES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/048485    N° de la demande internationale :    PCT/EP2006/009559
Date de publication : 03.05.2007 Date de dépôt international : 02.10.2006
CIB :
G01B 7/06 (2006.01), B29C 47/92 (2006.01)
Déposants : HCH.KÜNDIG & CIE. AG [CH/CH]; Joweid Zentrum 11, CH-8630 Rüti (CH) (Tous Sauf US).
KELLER, Albert [CH/CH]; (CH) (US Seulement).
HÄNGGLI, Markus [CH/CH]; (CH) (US Seulement).
WEBER, Philipp [CH/CH]; (CH) (US Seulement).
STUCKER, Peter [CH/CH]; (CH) (US Seulement)
Inventeurs : KELLER, Albert; (CH).
HÄNGGLI, Markus; (CH).
WEBER, Philipp; (CH).
STUCKER, Peter; (CH)
Mandataire : HAMMER, Bruno; Sunneraiweg 21, CH-8610 Uster (CH)
Données relatives à la priorité :
05405613.0 28.10.2005 EP
05405697.3 14.12.2005 EP
06405336.6 08.08.2006 EP
Titre (DE) VERFAHREN ZUM MESSEN DER DICKE VON MEHRSCHICHTFOLIEN
(EN) METHOD FOR MEASURING THE THICKNESS OF MULTI-LAYER FILMS
(FR) PROCEDE POUR MESURER L'EPAISSEUR DE FEUILLES MULTICOUCHES
Abrégé : front page image
(DE)Bei dem Verfahren zum Bestimmen der Dicke von Mehrschichtfolien (13) mit Schichten aus verschiedenen nichtleitenden Werkstoffen wird die Dicke der Mehrschichtfolie (13) mit einem ersten Sensor (17) und einem zweiten Sensor (16) und eventuell weiteren Sensoren gemessen. Der erste Sensor (17) misst mit einer kurzen Zykluszeit von ca. 1-2 Minuten das Profil der Gesamtdicke, jedoch mit einem grossen Messfehler. Der zweite Sensor (16) misst das Profil der Gesamtdicke mit einem kleinen Messfehler, jedoch mit einer langen Zykluszeit von ca. 10 bis 30 Minuten. Durch den Vergleich der beiden Dickenprofile kann für den ersten Sensor (17) ein Korrekturprofil berechnet werden. Unter der Voraussetzung, dass dieses Korrekturprofil über die lange Zykluszeit stabil bleibt, können alle Dickenprofile des Sensors (17) mit diesem Korrekturprofil verrechnet werden, bis wieder ein neues genaueres Dickenprofil vom zweiten Sensor zur Verfügung steht und somit ein neues Korrekturprofil berechnet werden kann.
(EN)The invention relates to a method for determining the thickness of multi-layer films (13) comprising layers consisting of various non-conductive materials. According to said method, the thickness of the multi-layer film (13) is measured by a first sensor (17) and a second sensor (16) and optionally additional sensors. The first sensor (17) measures the profile of the total thickness in a short cycle with a duration of approximately 1-2 minutes, but with a large measuring error margin. The second sensor (16) measures the profile of the total thickness with a small measuring error margin but in a long cycle with a duration of approximately 10 to 30 minutes. A correction profile for the first sensor (17) can be calculated by comparing the two thickness profiles. Provided that this correction profile remains constant throughout the long cycle, it can be applied to all thickness profiles of the sensor (17) until a new, more accurate thickness profile is made available by the second sensor, permitting the calculation of a new correction profile.
(FR)L'invention concerne un procédé pour déterminer l'épaisseur de feuilles multicouches (13) comprenant des couches constituées de différents matériaux non conducteurs, procédé selon lequel l'épaisseur de la feuille multicouche (13) est mesurée au moyen d'un premier capteur (17), et d'un deuxième capteur (16), et éventuellement à l'aide de capteurs supplémentaires. Le premier capteur (17) mesure le profil de l'épaisseur totale, pendant un temps de cycle court d'approximativement 1-2 minutes, mais avec un grand taux d'erreur de mesure. Le deuxième capteur (16) mesure le profil de l'épaisseur totale avec un faible taux d'erreur de mesure, mais pendant un temps de cycle long d'approximativement 10-30 minutes. Un profil de correction peut être calculé pour le premier capteur (17), par comparaison des deux profils d'épaisseur. L'ensemble des profils d'épaisseur mesurés par le premier capteur (17) peuvent être recalculés au moyen de ce profil de correction, à condition que ledit profil de correction reste stable pendant le temps de cycle long, et ceci jusqu'à ce qu'un nouveau profil d'épaisseur plus précis soit fourni par le deuxième capteur et permette de calculer un nouveau profil de correction.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)