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1. (WO2007022145) PROCEDE ET APPAREIL D'ASSISTANCE A UNE INSTALLATION DEPOUSSIEREE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/022145    N° de la demande internationale :    PCT/US2006/031760
Date de publication : 22.02.2007 Date de dépôt international : 15.08.2006
CIB :
H01L 21/677 (2006.01)
Déposants : FLITSCH, Frederick, A. [US/US]; (US) (Tous Sauf US)
Inventeurs : FLITSCH, Frederick, A.; (US)
Mandataire : KINCART, Joseph, P.; 8153 Middle Fork Way, Jacksonville, FL 32256 (US)
Données relatives à la priorité :
60/595,935 18.08.2005 US
60/596,035 25.08.2005 US
60/596,053 26.08.2005 US
60/596,099 31.08.2005 US
60/596,173 06.09.2005 US
60/596,343 18.09.2005 US
Titre (EN) CLEANSPACE FABRICATOR SUPPORT AND METHOD
(FR) PROCEDE ET APPAREIL D'ASSISTANCE A UNE INSTALLATION DEPOUSSIEREE
Abrégé : front page image
(EN)The present invention provides various aspects of support for a fabrication facility capable of routine placement and replacement of processing tools. Support aspects include support structure for processing tools, a clean environment carrier for a single substrate, and a quick disconnect flange which facilitates connecting and disconnect of electrical, liquid and gas utilities to a processing tool placed in the fabricator.
(FR)L'invention porte sur différents aspects d'assistance à une installation de fabrication où s'effectue la mise et la remise en place d'outils de traitement. La structure d'assistance comporte: un support dépoussiéré pour un seul substrat; et un connecteur rapide permettant de connecter et déconnecter les alimentations en eau, en électricité et en gaz d'un outil placé dans l'installation.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)