WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2007015719) SONDE A ELEMENT CHAUFFANT INTEGRE POUR ANALYSE A L'ECHELLE NANOMETRIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/015719    N° de la demande internationale :    PCT/US2006/014514
Date de publication : 08.02.2007 Date de dépôt international : 18.04.2006
CIB :
G01B 5/28 (2006.01)
Déposants : ANASYS INSTRUMENTS CORPORATION [US/US]; 2216 High Gate Road, Westlake Village, California 91361 (US) (Tous Sauf US)
Inventeurs :
Mandataire : RODGERS, Mark; 1590 San Roque Road, Santa Barbara, California 93105 (US)
Données relatives à la priorité :
60/672,270 18.04.2005 US
  18.04.2006 US
Titre (EN) PROBE WITH EMBEDDED HEATER FOR NANOSCALE ANALYSIS
(FR) SONDE A ELEMENT CHAUFFANT INTEGRE POUR ANALYSE A L'ECHELLE NANOMETRIQUE
Abrégé : front page image
(EN)The invention is a heated thermal probe suitable for use in micro-thermal analysis or other high resolution thermal measurements and actions. The probe is, in the preferred embodiment, a microfabricated cantilever 1 with a sharp probe tip (2) of a type used in Scanning Probe Microscopes (SPM' s) which further includes an integral resistive heating element (4). The heating element is formed by doping regions of the cantilever with an ion implant process to make lower resistance connections and a higher resistance heating element. There is no spatial overlap between the base of the probe tip and the heating element or conductors.
(FR)L'invention concerne une sonde thermique chauffée pouvant être utilisée dans l'analyse microthermique ou dans d'autres mesures et processus thermiques à haute résolution. Dans la forme de réalisation préférée, la sonde est un levier (1) microfabriqué qui comporte une extrémité (2) de sonde pointue du type utilisé dans des microscopes en champ proche, et comprend de plus un élément chauffant (4) résistif d'une seule pièce. On forme l'élément chauffant en dopant, à l'aide d'un procédé d'implantation ionique, des régions du levier pour produire des connexions de faible résistance et un élément chauffant de résistance supérieure. Il n'y a aucun chevauchement spatial entre la base de l'extrémité de la sonde et l'élément chauffant ou les conducteurs.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)