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1. (WO2007006977) APPAREIL POUR LE DEPOT PECVD D'UNE COUCHE BARRIERE INTERNE SUR UN RECIPIENT, COMPRENANT UN DISPOSITIF D'ANALYSE OPTIQUE DU PLASMA
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/006977    N° de la demande internationale :    PCT/FR2006/001703
Date de publication : 18.01.2007 Date de dépôt international : 12.07.2006
CIB :
C23C 16/04 (2006.01), C23C 16/52 (2006.01)
Déposants : SIDEL PARTICIPATIONS [FR/FR]; Avenue de la Patrouille de France, F-76930 Octeville-sur-Mer (FR) (Tous Sauf US).
RIUS, Jean-Michel [FR/FR]; (FR) (US Seulement).
FEUILLOLEY, Guy [FR/FR]; (FR) (US Seulement)
Inventeurs : RIUS, Jean-Michel; (FR).
FEUILLOLEY, Guy; (FR)
Mandataire : BEROGIN, Francis; Cabinet Plasseraud, 52, rue de la Victoire, F-75440 Paris Cedex 09 (FR)
Données relatives à la priorité :
0507555 13.07.2005 FR
Titre (EN) APPARATUS FOR THE PECVD DEPOSITION OF AN INNER BARRIER LAYER ON A CONTAINER, COMPRISING AN OPTICAL PLASMA ANALYSIS DEVICE
(FR) APPAREIL POUR LE DEPOT PECVD D'UNE COUCHE BARRIERE INTERNE SUR UN RECIPIENT, COMPRENANT UN DISPOSITIF D'ANALYSE OPTIQUE DU PLASMA
Abrégé : front page image
(EN)The invention relates to an apparatus (1) for the PECVD deposition of a thin layer of a material having a barrier effect in a container (3), comprising: a housing (5) for the container (3), which defines a plasma zone (18) and which is equipped with a hole (14) defining an axis (A1) and having an inner opening (15) which opens into the plasma zone (18) and an outer opening (16) which opens outside said zone (18); an electromagnetic wave generator; and an optical plasma control device (19) comprising a sensor (21) which is placed outside the plasma zone (18) in the axis (A1) of the hole (14).
(FR)Appareil (1) pour le dépôt PECVD d'une couche mince d'un matériau à effet barrière dans un récipient (3), comprenant : un bâti (5) recevant le récipient (3), délimitant une zone (18) de présence du plasma et muni d'un orifice (14) définissant un axe (Al) et présentant une ouverture interne (15) débouchant dans la zone (18) de présence du plasma, et une ouverture externe (16) débouchant à l'extérieur de cette zone (18) ; un générateur d'ondes électromagnétiques ; et un dispositif (19) de contrôle optique du plasma, qui comporte un capteur (21) placé à l'extérieur de la zone (18) de présence de plasma dans l'axe (Al) dudit orifice (14).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : français (FR)
Langue de dépôt : français (FR)