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1. (WO2007006166) DISPOSITIF POUR STOCKER DES SUPPORTS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/006166    N° de la demande internationale :    PCT/CH2006/000356
Date de publication : 18.01.2007 Date de dépôt international : 06.07.2006
CIB :
H01L 21/673 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Déposants : TEC-SEM AG [CH/CH]; Lohstampfestrasse 11, CH-8274 Tägerwilen (CH) (Tous Sauf US).
JAEGER, Erich [CH/CH]; (CH) (US Seulement).
BALG, Christian [DE/CH]; (CH) (US Seulement)
Inventeurs : JAEGER, Erich; (CH).
BALG, Christian; (CH)
Mandataire : KLEIN, Friedrich, J.; Klein & Klein, Industriestrasse 24, Postfach 2153, CH-6302 Zug (CH)
Données relatives à la priorité :
1150/05 09.07.2005 CH
Titre (DE) VORRICHTUNG ZUR LAGERUNG VON SUBSTRATEN
(EN) DEVICE FOR STORING SUBSTRATES
(FR) DISPOSITIF POUR STOCKER DES SUPPORTS
Abrégé : front page image
(DE)Bei einer Vorrichtung zum Lagern von plattenförmigen Substraten (8) , insbesondere von Wafern- oder Testwafern, wie sie vor allem in der Fertigung von elektronischen Bauteilen vorkommen, soll ein sicherer Zugriff auf die Substrate (8) auch dann möglich sein, wenn voneinander separierbare Lagerunselemente (1) der Vorrichtung mit Fertigungsungenauigkeiten behaftet sind. Für eine solche Vorrichtung, die mehrere in einer Stapelrichtung aufeinander folgende und relativ zueinander bewegliche Lagerungselemente (1) für jeweils ein Substrat (8) aufweist, bei der die Lagerungselemente (1) einen Stapelbereich (2) aufweisen, der zur Anordnung des jeweiligen Lagerungselements (1) innerhalb eines Stapels (3) von Lagerungselementen (1) vorgesehen ist, werden deshalb Kompensationsmittel (5) zum Ausgleich von Stapelfehlern in Stapelrichtung vorgeschlagen.
(EN)The invention relates to a device for storing platelike substrates (8), particularly wafers or test wafers, like those, in particular, used for manufacturing electronic components. The aim of the invention is to make a reliable access to the substrates (8) possible even when storage elements (1), which can be separated from one another, of the device are affected by manufacturing mistakes. For such a device that, for each substrate (8), has a number of storage elements (1), which follow one another in a direction of stacking and which can move relative to one another, in which the storage elements (1) have a stacking area (2), which is provided for placing the respective storage element (1)inside a stack (3) of storage elements (1), compensating means (5) are therefore provided in order to compensate for stacking errors in the direction of stacking.
(FR)L'invention concerne un dispositif pour stocker des supports en forme de plaques, notamment des tranches de silicium ou des tranches d'essai, qui sont utilisées avant tout dans la fabrication d'éléments électroniques. L'invention vise à créer un dispositif permettant un accès fiable aux supports, même lorsque des éléments de stockage du dispositif pouvant être séparés sont entachés de défauts de fabrication. A cet effet, le dispositif, qui comporte plusieurs éléments de stockage superposés dans un sens de superposition et mutuellement mobiles pour chacun des supports, ces éléments de stockage présentant une zone de superposition qui sert à la disposition de chaque élément de stockage à l'intérieur d'une pile d'éléments de stockage, est doté d'éléments de compensation pour neutraliser les défauts de superposition dans le sens de superposition.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)