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1. (WO2007004517) APPAREIL D'INSPECTION EN SURFACE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/004517    N° de la demande internationale :    PCT/JP2006/313011
Date de publication : 11.01.2007 Date de dépôt international : 29.06.2006
CIB :
G01N 21/88 (2006.01), G06T 1/00 (2006.01), G06T 7/00 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-Chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (Tous Sauf US).
YOSHIKAWA, Toru [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : YOSHIKAWA, Toru; (JP)
Mandataire : OKADA, FUSHIMI AND HIRANO, PC; NE Kudan Bldg. 2-7, Kudan-minami 3-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1020074 (JP)
Données relatives à la priorité :
2005-194531 04.07.2005 JP
Titre (EN) SURFACE INSPECTING APPARATUS
(FR) APPAREIL D'INSPECTION EN SURFACE
(JA) 表面検査装置
Abrégé : front page image
(EN)A wafer (W) to be inspected is placed on an XY stage (1), and after an area to be inspected is positioned below an objective lens (2), inspecting images (R, B, G signals) are photographed by a camera (3). Then, a fetched reference image and the inspection image are converted into hue by a computer (4). Then, the both images converted into hue are compared, and based on the results, defects are inspected. At that time, as for a pixel, which has a table of combination of values (R, G, B) having high possibility of generating pseudo defects in defect detection and has the values (R, G, B) existing on the table among the reference images, defects are not regarded as defects even when they are detected.
(FR)La présente invention concerne un dispositif dans lequel une tranche (W) à inspecter est placée sur un étage XY (1). Après qu'une zone à inspecter ait été positionnée en dessous d'une lentille d'objectif (2), des images d'inspection (signaux R, B, G) sont photographiées par une caméra (3). Ensuite, une image de référence extraite et l'image d'inspection sont converties en tonalité chromatique par un ordinateur (4). Puis les deux images converties en tonalité chromatique sont comparées, et sur la base des résultats, les défauts sont inspectés. À ce moment-là, comme pour un pixel, qui a une table de combinaison de valeurs (R, G, B) présentant une forte possibilité de génération de pseudo défauts lors de la détection de défauts et a les valeurs (R, G, B) présentes dans la table parmi les images de référence, les défauts ne sont pas considérés en tant que tels même lorsqu'ils sont détectés.
(JA) 非検査ウエハWがXYステージ1に載置され、検査したい位置が対物レンズ2の下に来るように位置決めされた後、カメラ3によって検査画像(R,B,G信号)が撮影される。そして、コンピューター4によって、取り込まれたリファレンス画像と検査画像を色相に変換する。そして、色相に変換された両画像を比較し、その結果に基づいて欠陥を検出する。その際、欠陥検出で擬似欠陥の発生する可能性が高い(R,G,B)値の組合せのテーブルを持ち、前記リファレンス画像のうち、このテーブルに存在する(R,G,B)値を有する画素に対しては、欠陥が検出されても欠陥とみなさないようにする。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)