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1. (WO2007003489) PROCEDE DE PRODUCTION D'UN REVETEMENT DE PARYLENE STRUCTURE ET REVETEMENT DE PARYLENE STRUCTURE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/003489    N° de la demande internationale :    PCT/EP2006/063183
Date de publication : 11.01.2007 Date de dépôt international : 14.06.2006
CIB :
B05D 7/24 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Déposants : SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT [DE/DE]; Wittelsbacherplatz 2, 80333 München (DE) (Tous Sauf US).
FUCHS, Manfred [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
HEUSER, Karsten [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
PÄTZOLD, Ralph [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
SCHILD, Markus [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : FUCHS, Manfred; (DE).
HEUSER, Karsten; (DE).
PÄTZOLD, Ralph; (DE).
SCHILD, Markus; (DE)
Représentant
commun :
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT; Postfach 22 16 34, 80506 München (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2005 030 832.5 01.07.2005 DE
Titre (DE) VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER STRUKTURIERTEN PARYLEN-BESCHICHTUNG UND STRUKTURIERTE PARYLEN-BESCHICHTUNG
(EN) METHOD FOR PRODUCING A STRUCTURED PARYLENE COATING, AND CORRESPONDING STRUCTURED PARYLENE COATING
(FR) PROCEDE DE PRODUCTION D'UN REVETEMENT DE PARYLENE STRUCTURE ET REVETEMENT DE PARYLENE STRUCTURE
Abrégé : front page image
(DE)Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen einer strukturierten Parylen-Beschichtung auf einem Substrat, welches die Schritte umfasst: Verdampfen von Parylen; Pyrolysieren des verdampften Parylens; Polymerisieren des pyrolysierten Parylens; Kühlen des polymerisierten Parylens und Abscheiden des gekühlten Parylens auf einem Substrat, gekennzeichnet durch Einstellen der Temperatur des Substrats zur strukturierten Abscheidung des Parylens. Dadurch ergibt sich der Vorteil, dass mittels des Verfahrens der vorliegenden Erfindung beispielsweise Röntgenkonverter antikorrosiv verkapselt werden können und eine elektrische Kontaktierung mittels späterer Metallkontakte einfach erfolgen kann.
(EN)The invention relates to a method for producing a structured parylene coating on a substrate, comprising the following steps: vaporizing parylene; pyrolyzing the vaporized parylene; polymerizing the pyrolyzed parylene; cooling the polymerized parylene, and; depositing the cooled parylene onto the substrate. The invention is characterized by the setting of the temperature of the substrate for the structured deposition of parylene. The invention is advantageous in that the method makes it possible to anticorrosively encapsulate, for example, X-ray converters and enables an easy electrical contacting by means of subsequent metal contacts.
(FR)La présente invention concerne un procédé de production d'un revêtement de parylène structuré sur un substrat. Ce procédé comporte les étapes suivantes: évaporation de parylène; pyrolyse du parylène évaporé; polymérisation du parylène pyrolysé; refroidissement du parylène polymérisé et dépôt du parylène refroidi sur un substrat. L'invention est caractérisée en ce que le réglage de la température du substrat permet le dépôt structuré du parylène. Cela permet d'obtenir l'avantage suivant : ce procédé permet d'encapsuler de manière anticorrosive, par exemple, un convertisseur des rayons X et d'effectuer de manière simple un contact électrique à l'aide de contacts métalliques ultérieurs.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)