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1. (WO2007003488) MODULE DESTINÉ À REVÊTIR LES DEUX CÔTÉS D'UN SUBSTRAT EN UN SEUL PASSAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/003488    N° de la demande internationale :    PCT/EP2006/063173
Date de publication : 11.01.2007 Date de dépôt international : 14.06.2006
CIB :
H01J 37/34 (2006.01)
Déposants : BEKAERT ADVANCED COATINGS [BE/BE]; E3-Laan 75-79, B-9800 Deinze (BE) (Tous Sauf US).
DE BOSSCHER, Wilmert [BE/BE]; (BE) (US Seulement).
VAN DE PUTTE, Ivan [BE/BE]; (BE) (US Seulement).
STAELENS, Koen [BE/BE]; (BE) (US Seulement)
Inventeurs : DE BOSSCHER, Wilmert; (BE).
VAN DE PUTTE, Ivan; (BE).
STAELENS, Koen; (BE)
Mandataire : MESSELY, Marc; Bekaertstraat 2, B-8550 Zwevegem (BE)
Données relatives à la priorité :
05105851.9 30.06.2005 EP
Titre (EN) A MODULE FOR COATING BOTH SIDES OF A SUBSTRATE IN A SINGLE PASS
(FR) MODULE DESTINÉ À REVÊTIR LES DEUX CÔTÉS D'UN SUBSTRAT EN UN SEUL PASSAGE
Abrégé : front page image
(EN)A module to carry targets in a sputter deposition installation for coating two-sided substrates is described. The module is mountable to the installation through an interface flange that carries at least two targets with their associated magnet systems. When the module is mounted, the targets take positions at opposite sides of the two-sided substrate, while the magnet systems orient the sputter deposition towards the substrate. The module enables coating of both sides of the substrate in one single pass. Different configurations are described with gas distribution systems and additional substrate supports. An enclosure with adjustable blinds in order to reduce gas spreading is also included.
(FR)La présente invention concerne un module destiné à transporter des cibles dans une installation de dépôt par pulvérisation cathodique afin de revêtir des substrats à deux côtés. Le module peut être monté sur l'installation par l'intermédiaire d'une collerette d'interface qui transporte au moins deux cibles avec leurs systèmes d'aimants associés. Lorsque le module est monté, les cibles se positionnent au niveau des côtés opposés du substrat à deux côtés, tandis que les systèmes d'aimants orientent le dépôt par pulvérisation cathodique vers le substrat. Le module permet le revêtement des deux côtés du substrat en un seul passage. Différentes configurations sont décrites avec des systèmes de distribution de gaz et des supports de substrats supplémentaires. Un boîtier avec des volets réglables dans le but de réduire l'étalement du gaz est également inclus.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)