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1. (WO2007003359) UNITE DE COLLECTEUR DESTINEE A UN SYSTEME D'ECLAIRAGE AYANT DES LONGUEURS D'ONDE = 193 NM
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/003359    N° de la demande internationale :    PCT/EP2006/006356
Date de publication : 11.01.2007 Date de dépôt international : 30.06.2006
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), G21K 1/06 (2006.01)
Déposants : CARL ZEISS SMT AG [DE/DE]; Rudolf-Eber-Str. 2, 73447 Oberkochen (DE) (Tous Sauf US).
DINGER, Udo [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
HAINZ, Joachim [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
SINGER, Wolfgang [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : DINGER, Udo; (DE).
HAINZ, Joachim; (DE).
SINGER, Wolfgang; (DE)
Mandataire : LORENZ & KOLLEGEN; Alte Ulmer Strasse 2, 89522 Heidenheim (DE)
Données relatives à la priorité :
60/695,932 01.07.2005 US
Titre (DE) KOLLEKTOREINHEIT FÜR EIN BELEUCHTUNGSSYSTEM MIT WELLENLÄNGEN ≤ 193 NM
(EN) COLLECTOR UNIT FOR A LIGHTING SYSTEM HAVING WAVELENGTHS < 193 NM
(FR) UNITE DE COLLECTEUR DESTINEE A UN SYSTEME D'ECLAIRAGE AYANT DES LONGUEURS D'ONDE = 193 NM
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine Kollektoreinheit für ein Beleuchtungssystem mit Wellenlängen ≤ 193 nm, insbesondere im EUV Bereich, auf welche Strahlen eines Strahlbüschels auftreffen. Die Kollektoreinheit ist gekennzeichnet durch eine Porenstruktur (4), welche aus auf einer Unterseite reflektierenden, übereinander stapelbaren Schalen (1) mit einer vorgegebenen Krümmung gebildet ist. Die Schalen weisen auf einer Oberseite Stege (3) auf.
(EN)The invention relates to a collector unit for a lighting system having wavelengths < 193 nm, especially in the EUV range, said collector unit being impinged upon by rays of a beam. The inventive collector unit is characterized by a porous structure (4) which is formed by dishes (1) that reflect on a bottom face, can be stacked on top of each other, and are provided with a predefined curvature. A top face of said dishes is fitted with webs (3).
(FR)L'invention concerne une unité de collecteur destinée à un système d'éclairage ayant des longueurs d'onde = 193 nm, notamment dans le domaine de l'ultraviolet extrême, ladite unité de collecteur étant frappée par des rayons d'un faisceau. L'unité de collecteur est caractérisée par une structure de pores (4) composée de coquilles (1), empilables, présentant une courbure prédéfinie, réfléchissantes sur un côté inférieur. Les coquilles présentent des barrettes (3) sur un côté supérieur.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)