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1. (WO2007000921) APPAREIL D’EXPOSITION ET PROCÉDÉ D’EXPOSITION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/000921    N° de la demande internationale :    PCT/JP2006/312401
Date de publication : 04.01.2007 Date de dépôt international : 21.06.2006
CIB :
G03F 9/00 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : FUJIFILM Corporation [JP/JP]; 26-30, Nishiazabu 2-chome, Minato-ku, Tokyo, 1068620 (JP) (Tous Sauf US).
FUKUI, Takashi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
UEMURA, Hiroshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : FUKUI, Takashi; (JP).
UEMURA, Hiroshi; (JP)
Mandataire : NAKAJIMA, Jun; TAIYO, NAKAJIMA & KATO Seventh Floor, HK-Shinjuku-ku Bldg. 3-17, Shinjuku 4-chome Shinjuku-ku, Tokyo 1600022 (JP)
Données relatives à la priorité :
2005-188041 28.06.2005 JP
Titre (EN) EXPOSURE APPARATUS AND EXPOSURE METHOD
(FR) APPAREIL D’EXPOSITION ET PROCÉDÉ D’EXPOSITION
(JA) 露光装置及び露光方法
Abrégé : front page image
(EN)An exposure apparatus and an exposure method that can reliably perform imaging of an alignment mark of a photosensitive material placed on a stage. While the stage having the photosensitive material placed on it is moved along a predetermined conveyance route, a predetermined region including the alignment mark M of the photosensitive material is imaged by a first camera, and the position of a second camera having a higher magnification ratio than the first camera is adjusted based on the result of imaging by the first camera. Further, while the stage is moved along the predetermined conveyance route, the alignment mark M of the photosensitive material is imaged by the second camera, and image data corrected based on the imaging result is exposed on the photosensitive material by an exposure means.
(FR)L’invention concerne un appareil d’exposition et un procédé d’exposition capables de réaliser en toute fiabilité l’imagerie d’un repère d’alignement d’un matériau photosensible placé sur un étage. Tandis que l’étage ayant le matériau photosensible placé sur lui se déplace le long d’un circuit de convoyage prédéterminé, une région prédéterminée englobant le repère d’alignement M du matériau photosensible est imagée par une première caméra, et la position d’une seconde caméra de rapport d’agrandissement supérieur à la première caméra est ajustée sur la base du résultat d’imagerie de la première caméra. De plus, tandis que l’étage se déplace le long du circuit de convoyage prédéterminé, le repère d’alignement M du matériau photosensible est imagé par la seconde caméra, et les données d’image corrigées sur la base du résultat d’imagerie sont exposées sur le matériau photosensible par un moyen d’exposition.
(JA) ステージに載置された感光材料のアライメントマークの撮影が確実に実行できる露光装置及び露光方法を提供する。  感光材料が載置されたステージを所定の搬送路に沿って移動させる間に、前記感光材料のアライメントマークMを含む所定領域を第1のカメラで撮影し、前記第1のカメラによる撮影結果を基に、前記第1のカメラよりも高倍率とされた第2のカメラの位置を調整し、ステージを所定の搬送路に沿って移動させる間に、感光材料のアライメントマークMを、前記第2のカメラで撮影し、その撮影結果に基づいて補正された画像データを、露光手段によって感光材料に露光する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)