WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2006127320) APPAREIL D'ELECTRODEPOSITION BASE SUR UN RESEAU D'ANODES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/127320    N° de la demande internationale :    PCT/US2006/018792
Date de publication : 30.11.2006 Date de dépôt international : 16.05.2006
CIB :
C25D 3/02 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue, Santa Clara, CA 95054 (US) (Tous Sauf US).
SINGH, Saravjet [IN/US]; (US) (US Seulement).
BIRANG, Manoocher [US/US]; (US) (US Seulement).
KOVARSKY, Nicolay [IL/US]; (US) (US Seulement).
ROSENFELD, Aron [CA/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : SINGH, Saravjet; (US).
BIRANG, Manoocher; (US).
KOVARSKY, Nicolay; (US).
ROSENFELD, Aron; (US)
Mandataire : PATTERSON, B. Todd; PATTERSON & SHERIDAN, L.L.P., 3040 Post Oak Blvd., Suite 1500, Houston, Texas 77056-6582 (US)
Données relatives à la priorité :
60/684,444 25.05.2005 US
Titre (EN) ELECTROPLATING APPARATUS BASED ON AN ARRAY OF ANODES
(FR) APPAREIL D'ELECTRODEPOSITION BASE SUR UN RESEAU D'ANODES
Abrégé : front page image
(EN)Apparatus and methods for plating conductive materials on a substrate are disclosed. The apparatus comprises a fluid basin configured to retain an electrolyte, a contact ring configured to support the substrate and contact the substrate electrically, and an anode assembly disposed in the fluid basin, wherein the anode assembly comprises a plurality of anode elements arranged in rows.
(FR)L'invention concerne de manière générale un appareil et des procédés destinés à déposer des matières conductrices sur un substrat. Un des modes de réalisation de cette invention concerne un appareil destiné à déposer une matière conductrice sur un substrat. L'appareil comprend un bassin fluidique conçu de manière à retenir un électrolyte, un anneau de contact conçu de manière à supporter le substrat et entrer en contact avec le substrat de façon électrique, ainsi qu'un ensemble anode placé dans le bassin fluidique, cet ensemble anode comportant plusieurs éléments d'anode disposés en rangées.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)