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1. (WO2006127221) TUILES EN TANT QUE CIBLES DE PULVERISATION POSSEDANT DES BORDS STRUCTURES SEPARES PAR UN ESPACE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/127221    N° de la demande internationale :    PCT/US2006/016939
Date de publication : 30.11.2006 Date de dépôt international : 02.05.2006
CIB :
C23C 14/35 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue, Santa Clara, California 95054 (US) (Tous Sauf US).
LE, Hien-minh [US/US]; (US) (US Seulement).
STIMSON, Bradley [US/US]; (US) (US Seulement).
HOSOKAWA, Akihiro [JP/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : LE, Hien-minh; (US).
STIMSON, Bradley; (US).
HOSOKAWA, Akihiro; (US)
Mandataire : GUENZER, Charles; LAW OFFICES OF CHARLES GUENZER, APPLIED MATERIALS, INC., 2211 Park Boulevard, P.O. Box 60729, Palo Alto, California 94306 (US)
Données relatives à la priorité :
11/137,262 24.05.2005 US
11/414,016 28.04.2006 US
Titre (EN) SPUTTERING TARGET TILES HAVING STRUCTURED EDGES SEPARATED BY A GAP
(FR) TUILES EN TANT QUE CIBLES DE PULVERISATION POSSEDANT DES BORDS STRUCTURES SEPARES PAR UN ESPACE
Abrégé : front page image
(EN)A target assembly composed of multiple target tiles (30) bonded in an array to a backing plate (24) of another material. The edges of the tile within the interior of the array are formed with complementary structure edges to form a gap (36) between the tiles having at least a portion that is inclined to the target normal. The gap may be simply beveled and slant at an angle of between 10° and 55°, preferably 15° and 50°, with respect to the target normal or they may be convolute with one portion horizontal (74) or otherwise inclined to prevent a line of sight from the bottom to top. The facing sides (30, 32) of tiles may be roughened by bead blasting, for both perpendicular and sloping gaps. The area of the backing plate underlying the gap may be roughened or may be coated or overlain with a foil (54) of the material of the target, for both perpendicular and sloping gaps and have a polymeric foil (52) preventing entry of bonding material into the gap.
(FR)L'invention concerne un ensemble cible composé de multiples tuiles cibles (30) liées en un réseau à une plaque support (24) d'un autre matériau. Les bords de la tuile à l'intérieur du réseau sont formées avec des bords structurés complémentaires pour former un espace (36) entre les tuiles possédant au moins une partie inclinée vers la normale cible. L'espace peut être simplement biseauté et incliné selon un angle compris entre 10° et 55°, de préférence entre 15° et 50°, par rapport à la normale cible ou il peut être convolutif avec une partie horizontale (74) ou inclinée diversement pour empêcher une ligne de visée du fond au sommet. Les côtés se faisant face (30, 32) des tuiles peuvent être rendus rugueux par projection de billes, pour à la fois les espaces perpendiculaires et les espaces inclinés. La zone de la plaque support sous-jacente à l'espace peut être rendue rugueuse ou peut être revêtue ou recouverte d'une feuille (54) du matériau de la cible, pour à la fois les espaces perpendiculaires et les espaces inclinés, et possède une feuille polymère (52) empêchant l'entrée de matériau de liaison dans l'espace.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)