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1. (WO2006126434) ANALYSEUR DE MASSE ET UTILISATION DE CET ANALYSEUR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/126434    N° de la demande internationale :    PCT/JP2006/309835
Date de publication : 30.11.2006 Date de dépôt international : 17.05.2006
CIB :
G01N 27/62 (2006.01)
Déposants : ULVAC, Inc. [JP/JP]; 2500, Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543 (JP) (Tous Sauf US).
NAKAJIMA, Toyoaki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
YOSHIZAWA, Hideki [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : NAKAJIMA, Toyoaki; (JP).
YOSHIZAWA, Hideki; (JP)
Mandataire : SHIGA, Masatake; 2-3-1, Yaesu, Chuo-ku, Tokyo 1048453 (JP)
Données relatives à la priorité :
2005-149626 23.05.2005 JP
Titre (EN) MASS ANALYZER AND USE THEREOF
(FR) ANALYSEUR DE MASSE ET UTILISATION DE CET ANALYSEUR
(JA) 質量分析装置およびその使用方法
Abrégé : front page image
(EN)This invention provides a mass analyzer that is mounted on the wall part of a chamber for analyzing an analyte gas present in the chamber. The mass analyzer comprises a measuring part, which, when the mass analyzer is mounted in the chamber, is inserted into the chamber for measuring the partial pressure for each mass charge ratio of the gas component in the analyte gas, an operating part, which, when the mass analyzer is mounted in the chamber, is located on the outer side of the wall part for operating the measuring part, and a display part which, when the mass analyzer is mounted in the chamber, is located on the outer side of the wall part for displaying the measurement results of the measuring part. The mass analyzer is characterized in that the measuring part, the operating part, and the display part are located closely to each other.
(FR)La présente invention se rapporte à un analyseur de masse qui est monté sur la partie paroi d'une chambre pour analyser un gaz analyte présent dans ladite chambre. L'analyseur de masse comprend une section de mesure qui, lorsque ledit analyseur de masse est monté dans la chambre, est insérée à l'intérieur de la chambre pour mesurer la pression partielle associée à chaque rapport de charge massique du composant gazeux dans le gaz analyte, une section de fonctionnement qui, lorsque l'analyseur de masse est monté dans la chambre, est située sur le côté externe de la partie paroi pour faire fonctionner la section de mesure, et une section d'affichage qui, lorsque l'analyseur de masse est monté dans la chambre, est située sur le côté extérieur de la partie paroi pour afficher les résultats de mesure de la section de mesure. Cet analyseur de masse se caractérise en ce que la section de mesure, la section de fonctionnement et la section d'affichage sont disposées à proximité l'une de l'autre.
(JA) チャンバの壁部に装着され、該チャンバ内に存在する分析対象ガスを分析する質量分析装置であって、前記チャンバへの装着時に前記チャンバ内に挿入され、前記分析対象ガス中のガス成分の質量電荷比ごとの分圧を測定する測定部と、 前記チャンバへの装着時に前記壁部の外側に位置し、前記測定部を操作する操作部と、前記チャンバへの装着時に前記壁部の外側に位置し、前記測定部の測定結果を表示する表示部と、を備え、前記測定部と前記操作部と前記表示部とが互いに近接して配設されていることを特徴とする質量分析装置。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)