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1. (WO2006126390) IRRADIATEUR À FAISCEAU D’ÉNERGIE ET PROCÉDÉ D’IRRADIATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/126390    N° de la demande internationale :    PCT/JP2006/309367
Date de publication : 30.11.2006 Date de dépôt international : 10.05.2006
CIB :
C09J 5/00 (2006.01), B05D 3/06 (2006.01), G21K 5/00 (2006.01)
Déposants : LINTEC Corporation [JP/JP]; 23-23, Honcho, Itabashi-ku, Tokyo 1730001 (JP) (Tous Sauf US).
KURITA, Tsuyoshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : KURITA, Tsuyoshi; (JP)
Mandataire : WADA, Shigenori; Tohko Building 4F, 15-16, Uchikanda 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010047 (JP)
Données relatives à la priorité :
2005-151091 24.05.2005 JP
Titre (EN) ENERGY BEAM IRRADIATOR AND IRRADIATING METHOD
(FR) IRRADIATEUR À FAISCEAU D’ÉNERGIE ET PROCÉDÉ D’IRRADIATION
(JA) エネルギー線照射装置とその方法
Abrégé : front page image
(EN)[PROBLEMS] To provide an energy beam irradiator suitable for enhancing the processing capability of an apparatus and reducing gas consumption and installation space of the apparatus, and to provide an irradiating method. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] When a protective sheet T stuck to a wafer W while having UV-curing adhesive A is stripped by irradiating the adhesive A of the protective sheet T with UV-rays thereby lowering its bonding force, the wafer W with the protective sheet T is suction held by a supporting member (3) and irradiated with UV-rays from a UV lamp (2) while being held. At that time, nitrogen gas N is jetted from a gas ejection region GA adjacent to the wafer suction holding region SA of the supporting member (3).
(FR)La présente invention concerne un irradiateur à faisceau d’énergie adapté à l'amélioration des capacités de traitement d'un dispositif et à la réduction de la consommation de gaz et de l’espace d’installation du dispositif, ainsi qu’un procédé d’irradiation. Lorsqu'une feuille protectrice T collée à une galette W et comportant un adhésif de séchage sous UV A est arrachée en irradiant l’adhésif A de la feuille protectrice T avec des rayons UV, ce qui diminue ses forces de liaison, la galette W comportant la feuille protectrice T est maintenue par succion par un membre de support (3) et irradiée par des rayons UV provenant d'une lampe UV (2) tout en étant maintenue. À ce moment, un gaz d'azote N est éjecté d'une zone d'éjection de gaz GA adjacente à la zone de maintien par succion de la galette SA du membre de support (3).
(JA)【課題】機器処理能力の向上、ガス消費量の低減、機器設置スペースの削減を図るのに好適なエネルギー線照射装置とその方法を提供する。 【解決手段】ウエハWに貼り付けられた紫外線硬化型の接着剤Aを有する保護シートTを剥離するにあたり、前記保護シートTの接着剤Aに紫外線を照射し、その接着力を低下させる際に、支持部材3で前記保護シートT付きウエハWを吸着保持し、この状態でUVランプ2から紫外線が照射される。その際、支持部材3のウエハ吸着保持領域SAに隣接するガス吐出領域GAから窒素ガスNが噴出するようにする。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)