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1. (WO2006126218) SYSTEME A DEPRESSION POUR LA MANIPULATION DE PLAQUETTES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/126218    N° de la demande internationale :    PCT/IT2005/000301
Date de publication : 30.11.2006 Date de dépôt international : 26.05.2005
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    06.04.2006    
CIB :
H01L 21/68 (2006.01)
Déposants : LPE S.P.A. [IT/IT]; Via Falzarego 8, I-20021 Bollate (MI) (IT) (Tous Sauf US).
OGLIARI, Vincenzo [IT/IT]; (IT) (US Seulement).
PRETI, Franco [IT/IT]; (IT) (US Seulement)
Inventeurs : OGLIARI, Vincenzo; (IT).
PRETI, Franco; (IT)
Mandataire : DRAGOTTI Gianfranco; Dragotti & Associati S.r.l., Via Turati, 32, I-20121 Milano (IT)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) VACUUM SYSTEM FOR WAFER HANDLING
(FR) SYSTEME A DEPRESSION POUR LA MANIPULATION DE PLAQUETTES
Abrégé : front page image
(EN)The present invention relates to a system for handling wafers (W) within a treatment apparatus (1) comprising a suction system (10) equipped with a suction inlet, a suction pipe (7) having a first end and a second end, said first end being connected to the suction inlet of the suction system (10), a tool (6) suitable for handling wafers (W) and for holding them by suction, and connected to the second end of the suction pipe (7), and a device for regulating the pressure in the suction pipe; the regulating device comprises a valve (8) connected to the suction pipe (7) and capable of opening when the pressure in the suction pipe (7) falls below a predetermined value.
(FR)L'invention concerne un système de manipulation de plaquettes (W) à l'intérieur d'un appareil de traitement (1), comprenant un système d'aspiration (10) comportant une entrée d'aspiration, un tuyau d'aspiration (7) présentant une première extrémité et une deuxième extrémité, la première extrémité étant branchée sur l'entrée d'aspiration du système d'aspiration (10), un outil (6) capable de manipuler des plaquettes (W) et de les maintenir par aspiration, et branché sur la deuxième extrémité du tuyau d'aspiration (7), et un dispositif de régulation de la pression dans le tuyau d'aspiration. Le dispositif de régulation comprend un clapet (8) branché sur le tuyau d'aspiration (7) et capable de s'ouvrir lorsque la pression dans le tuyau d'aspiration (7) chute en dessous d'une valeur prédéterminée.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : italien (IT)