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1. (WO2006125617) PROCEDE PERMETTANT D'AMELIORER LES PROPRIETES DE FORMATION D'IMAGE D'UN OBJECTIF DE PROJECTION, ET OBJECTIF DE PROJECTION CORRESPONDANT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/125617    N° de la demande internationale :    PCT/EP2006/004929
Date de publication : 30.11.2006 Date de dépôt international : 24.05.2006
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : CARL ZEISS SMT AG [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2, 73447 Oberkochen (DE) (Tous Sauf US).
CONRADI, Olaf [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
FELDMANN, Heiko [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
RICHTER, Gerald [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
BLEIDISTEL, Sascha [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
FROMMEYER, Andreas [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
GRUNER, Toralf [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
HUMMEL, Wolfgang [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : CONRADI, Olaf; (DE).
FELDMANN, Heiko; (DE).
RICHTER, Gerald; (DE).
BLEIDISTEL, Sascha; (DE).
FROMMEYER, Andreas; (DE).
GRUNER, Toralf; (DE).
HUMMEL, Wolfgang; (DE)
Mandataire : HEUCKEROTH, Volker; Witte, Weller & Partner, pastfach 105462, 70047 Stuttgart (DE)
Données relatives à la priorité :
60/685,716 27.05.2005 US
Titre (EN) METHOD FOR IMPROVING THE IMAGING PROPERTIES OF A PROJECTION OBJECTIVE, AND SUCH A PROJECTION OBJECTIVE
(FR) PROCEDE PERMETTANT D'AMELIORER LES PROPRIETES DE FORMATION D'IMAGE D'UN OBJECTIF DE PROJECTION, ET OBJECTIF DE PROJECTION CORRESPONDANT
Abrégé : front page image
(EN)The invention relates to a method -for improving the imaging properties of a micro lithography projection objective (50) , wherein the projection objective has a plurality of lenses (Ll, L2, L3 , L4 , L5 , L6, L7, L8) between an object plane and an image plane, a first lens of the plurality of lenses being assigned a first manipulator (ml, Mn) for actively deforming the lens, the first lens being deformed for at least partially correcting an aberration, at least one second lens of the plurality of lenses furthermore being assigned at least one second manipulator, and the second lens being deformed in addition to the first lens. Furthermore, a method is described for selecting at least one lens of a plurality of lenses of a projection objective as actively deformable element, and a projection objective.
(FR)L'invention concerne un procédé permettant d'améliorer les propriétés de formation d'image d'un objectif de projection microlithographique. Cet objectif de projection possède une pluralité de lentilles disposées entre un plan objet et un plan image, cette pluralité comprenant une première lentille qui est associée à un premier manipulateur servant à déformer activement la lentille, et cette première lentille étant déformée de manière à corriger au moins partiellement une aberration, une ou plusieurs secondes lentilles associées à au moins un second manipulateur, la seconde lentille étant déformée de manière complémentaire à la première lentille. L'invention concerne en outre un procédé permettant de sélectionner au moins une lentille parmi la pluralité de lentilles d'un objectif de projection en tant qu'élément activement déformable, ainsi qu'un objectif de projection.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)