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1. (WO2006124472) PROCEDE ET APPAREIL PERMETTANT LE TRANSPORT VERTICAL DE SUBSTRATS SEMI-CONDUCTEURS DANS UN MODULE DE NETTOYAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/124472    N° de la demande internationale :    PCT/US2006/018130
Date de publication : 23.11.2006 Date de dépôt international : 11.05.2006
CIB :
H01L 21/00 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue, Santa Clara, CA 95054 (US) (Tous Sauf US).
YUDOVSKY, Joseph [US/US]; (US) (US Seulement).
CHEN, Hui [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : YUDOVSKY, Joseph; (US).
CHEN, Hui; (US)
Mandataire : PATTERSON, B., Todd; PATTERSON & SHERIDAN, L.L.P., 3040 Post Oak Blvd., Suite 1500, Houston, TX 77056-6582 (US)
Données relatives à la priorité :
60/680,857 12.05.2005 US
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR VERTICAL TRANSFER OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATES IN A CLEANING MODULE
(FR) PROCEDE ET APPAREIL PERMETTANT LE TRANSPORT VERTICAL DE SUBSTRATS SEMI-CONDUCTEURS DANS UN MODULE DE NETTOYAGE
Abrégé : front page image
(EN)A substrate handler is provided. In one embodiment, the substrate handler includes a first and second carriage coupled to a rail. A first robot having at least two grippers is attached to the first carrier. A second robot having at least one gripper is coupled to the second carriage. The first carriage is independently positionable along the rail relative to the second carriage. As each carriage has a separate actuator, the movements of the first and second robot are decoupled, thereby allowing increased throughput. The substrate handler is particularly suitable for using in a planarization system having an integrated substrate cleaner.
(FR)La présente invention se rapporte à un dispositif de manipulation de substrat. Dans un mode de réalisation, le dispositif de manipulation de substrat selon l'invention comprend des premier et second chariots couplés à un rail. Un premier robot possédant au moins deux organes de préhension est fixé au premier chariot. Un second robot possédant au moins un organe de préhension est couplé au second chariot. Le premier chariot peut être positionné indépendamment le long du rail par rapport au second chariot. Chaque chariot possédant un actionneur séparé, les mouvements des premier et second robots sont découplés, ce qui permet d'augmenter le débit. Le dispositif de manipulation de substrat est destiné à être utilisé en particulier dans un système de planarisation possédant un dispositif de nettoyage de substrat intégré.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)