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1. (WO2006123772) SONDE EN FORME DE FEUILLE POUR INSPECTION DE GALETTE ET APPLICATION DE CELLE-CI
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/123772    N° de la demande internationale :    PCT/JP2006/310007
Date de publication : 23.11.2006 Date de dépôt international : 19.05.2006
CIB :
G01R 1/073 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Déposants : JSR Corporation [JP/JP]; 6-10, Tsukiji 5-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040045 (JP) (Tous Sauf US).
KIMURA, Kiyoshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
HARA, Fujio [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
YAMADA, Daisuke [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : KIMURA, Kiyoshi; (JP).
HARA, Fujio; (JP).
YAMADA, Daisuke; (JP)
Mandataire : OHI, Masahiko; Nissenren-Asahiseimei Building 4, Kanda Surugadai 3-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1010062 (JP)
Données relatives à la priorité :
2005-146728 19.05.2005 JP
Titre (EN) WAFER INSPECTING SHEET-LIKE PROBE AND APPLICATION THEREOF
(FR) SONDE EN FORME DE FEUILLE POUR INSPECTION DE GALETTE ET APPLICATION DE CELLE-CI
(JA) ウエハ検査用シート状プローブおよびその応用
Abrégé : front page image
(EN)A wafer inspecting sheet-like probe which can surely achieve an excellent electrical connection status even with a wafer wherein a pitch of electrodes to be inspected is extremely small, and application of such probe. The wafer inspecting sheet-like probe is provided with an insulating sheet having a plurality of through holes extending in the thickness direction by following a pattern that corresponds to a pattern of the electrode to be inspected in the entire or a part of an integrated circuit formed on the wafer; and an electrode structure arranged to protrude from both planes of the insulating sheet in each of the through holes on the insulating sheet. The electrode structure is provided by connecting a front plane electrode section, which is exposed on the front plane of the insulating sheet and has a diameter larger than that of the front plane opening of the through hole on the insulating sheet, with a rear plane electrode section, which is exposed on the rear plane of the insulating sheet and has a diameter larger than that of the rear plane opening of the through hole on the insulating sheet, by a short-circuiting section inserted into the through hole of the insulating sheet, and the electrode structure is movable in the thickness direction of the insulating sheet.
(FR)L’invention concerne une sonde en forme de feuille pour inspection de galette capable d’assurer une excellente connexion électrique même avec une galette dans laquelle le pas des électrodes à inspecter est extrêmement petit, et l’application d’une telle sonde. La sonde en forme de feuille pour inspection de galette est pourvue d’une feuille isolante ayant une pluralité de trous traversants s’étendant dans l’épaisseur en suivant un schéma correspondant à un schéma de l’électrode à inspecter dans l’intégralité ou une partie d’un circuit intégré formé sur la galette ; et une structure d’électrode disposée pour dépasser des deux plans de la feuille isolante dans chacun des trous traversants sur la feuille isolante. La structure d’électrode s’obtient par connexion d’une section d’électrode de plan avant, qui est exposée sur le plan avant de la feuille isolante et présente un diamètre supérieur à celui de l’ouverture du plan avant du trou traversant sur la feuille isolante, avec une section d’électrode de plan arrière, qui est exposée sur le plan arrière de la feuille isolante et ayant un diamètre supérieur à celui de l’ouverture du plan arrière du trou traversant sur la feuille isolante, par une section de mise en court-circuit insérée dans le trou traversant de la feuille isolante, et la structure d’électrode est mobile dans le sens de l’épaisseur de la feuille isolante.
(JA) 被検査電極のピッチが極めて小さいウエハでも、良好な電気的接続状態を確実に達成することができるウエハ検査用シート状プローブおよびその応用が開示されている。  本発明のウエハ検査用シート状プローブは、ウエハに形成された全てのまたは一部の集積回路における被検査電極のパターンに対応するパターンに従って、厚み方向に伸びる複数の貫通孔が形成された絶縁性シートと、絶縁性シートの貫通孔の各々に、絶縁性シートの両面から突出するよう配置された電極構造体とを有し、電極構造体は、絶縁性シートの表面に露出する、絶縁性シートの貫通孔の表面側開口の径より大きい径を有する表面電極部と、絶縁性シートの裏面に露出する、絶縁性シートの貫通孔の裏面側開口の径より大きい径を有する裏面電極部とが、絶縁性シートの貫通孔に挿通された短絡部によって連結されてなり、絶縁性シートに対してその厚み方向に移動可能とされている。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)