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1. (WO2006123680) APPAREIL DE MAINTIEN ÉLECTROSTATIQUE ET PINCE ÉLECTROSTATIQUE UTILISANT LEDIT APPAREIL
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/123680    N° de la demande internationale :    PCT/JP2006/309804
Date de publication : 23.11.2006 Date de dépôt international : 17.05.2006
CIB :
H01L 21/67 (2006.01), H01L 21/687 (2006.01), B25B 9/02 (2006.01), B65G 49/07 (2006.01)
Déposants : TSUKUBA SEIKO LTD. [JP/JP]; 2168-10, Aza Ganjoh-ji Oaza Kamikamou, Kaminokawa-machi Kawachi-gun, Tochigi 329-0617 (JP) (Tous Sauf US).
POH, Fow-Lai [MY/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : POH, Fow-Lai; (JP)
Mandataire : NISHIWAKI, Tamio; Asahi Bldg. 7F, 6-7, Ginza 6-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040061 (JP)
Données relatives à la priorité :
2005-147537 20.05.2005 JP
Titre (EN) ELECTROSTATIC HOLDING APPARATUS AND ELECTROSTATIC TWEEZERS USING SAME
(FR) APPAREIL DE MAINTIEN ÉLECTROSTATIQUE ET PINCE ÉLECTROSTATIQUE UTILISANT LEDIT APPAREIL
(JA) 静電保持装置及びそれを用いた静電ピンセット
Abrégé : front page image
(EN)[PROBLEMS] To provide an electrostatic holding apparatus which can perform handling for a long period of time even when a direct current high voltage power supply is separated. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] The electrostatic holding apparatus holds a subject (205) to be held by applying a prescribed voltage from the direct current high voltage power supply (122) to a plurality of electrode groups (202a, 202b) by having the electrode groups (202a, 202b) as a holding section (110). The electrostatic holding apparatus is provided with an electrode potential fall modifying apparatus (100) which modifies fall of a potential applied to the electrode groups (202a, 202b) by being separated from the direct current high voltage power supply (122) by switches (121a, 121b). The electrode potential fall modifying apparatus (100) includes, for instance, capacitors (102a, 102b).
(FR)L’invention concerne un appareil de maintien électrostatique assurant une excellente tenue sur une longue période de temps même si une alimentation haute tension en courant continu est séparée. L’appareil de maintien électrostatique de l’invention maintient un sujet (205) à maintenir en appliquant une tension prescrite à partir de l’alimentation haute tension en courant continu (122) à une pluralité de groupes d’électrodes (202a, 202b) en ayant les groupes d’électrodes (202a, 202b) comme section de maintien (110). L’appareil de maintien électrostatique est pourvu d’un appareil de modification de chute de potentiel d’électrode (100) qui modifie la chute d’un potentiel appliqué aux groupes d’électrodes (202a, 202b) par séparation de l’alimentation haute tension en courant continu (122) à l’aide des interrupteurs (121a, 121b). L’appareil de modification de chute de potentiel d’électrode (100) comporte, par exemple, des condensateurs (102a, 102b).
(JA)not available
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)