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1. (WO2006123524) APPAREIL DE GENERATION DE PLASMA ET APPAREIL DE TRAITEMENT DE PLASMA
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/123524    N° de la demande internationale :    PCT/JP2006/308777
Date de publication : 23.11.2006 Date de dépôt international : 26.04.2006
CIB :
H01L 21/3065 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01), H05H 1/46 (2006.01)
Déposants : SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION [JP/JP]; 5-1, Kasama 2-chome, Sakae-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2478560 (JP) (Tous Sauf US).
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA [JP/JP]; 1-1, Shibaura 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058001 (JP) (Tous Sauf US).
GANACHEV, Ivan, Petrov [BG/JP]; (JP) (US Seulement).
Tsugami, Yoshikazu [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
SHIMATANI, Kohei [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
YAMAGE, Masashi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : GANACHEV, Ivan, Petrov; (JP).
Tsugami, Yoshikazu; (JP).
SHIMATANI, Kohei; (JP).
YAMAGE, Masashi; (JP)
Mandataire : HYUGAJI, Masahiko; Kannai ST Bldg. 4-1, Onoe-cho 1-chome, Naka-ku Yokohama-shi, Kanagawa 231-0015 (JP)
Données relatives à la priorité :
2005-147662 20.05.2005 JP
Titre (EN) PLASMA GENERATING APPARATUS AND PLASMA TREATMENT APPARATUS
(FR) APPAREIL DE GENERATION DE PLASMA ET APPAREIL DE TRAITEMENT DE PLASMA
(JA) プラズマ発生装置及びプラズマ処理装置
Abrégé : front page image
(EN)A plasma generating apparatus is provided with a coaxial conversion means for coaxially converting microwaves; a substantially annular ring slot for passing through the coaxially converted microwaves; and a dielectric window for propagating the microwaves passed through the ring slot. Plasma can be generated by the microwaves propagated through the dielectric window. The plasma having uniform distribution over a large area can be stably formed.
(FR)La présente invention décrit un appareil de génération de plasma muni d'un moyen de conversion coaxial pour convertir les micro-ondes de manière coaxiale, une fente en anneau, de forme sensiblement annulaire, permettant de passer à travers les micro-ondes converties de manière coaxiale et une fenêtre diélectrique pour propager les micro-ondes passées par la fente en anneau. Le plasma peut être généré par les micro-ondes propagées par la fenêtre diélectrique. Il est possible de former de manière stable un plasma ayant une distribution uniforme sur une zone étendue.
(JA) 本発明によるプラズマ発生装置は、マイクロ波を同軸変換する同軸変換手段と、前記同軸変換されたマイクロ波を通過させる略円環状のリングスロットと、前記リングスロットを通過したマイクロ波を伝搬させる誘電体窓と、を備え、前記誘電体窓を伝搬した前記マイクロ波によりプラズマを生成可能としたことを特徴とする。大面積に亘って均一な分布のプラズマを安定して形成可能とする。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)