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1. (WO2006121117) PROCÉDÉ DE NETTOYAGE AU PLASMA ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE PELLICULE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/121117    N° de la demande internationale :    PCT/JP2006/309484
Date de publication : 16.11.2006 Date de dépôt international : 11.05.2006
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    09.03.2007    
CIB :
H01L 21/205 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome Minato-ku, Tokyo 1078481 (JP) (Tous Sauf US).
ASHIGAKI, Shigeo [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
KATO, Yoshihiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
KAWAKAMI, Satoru [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MOROI, Masayuki [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : ASHIGAKI, Shigeo; (JP).
KATO, Yoshihiro; (JP).
KAWAKAMI, Satoru; (JP).
MOROI, Masayuki; (JP)
Mandataire : YOSHITAKE, Kenji; Kyowa Patent & Law Office Room 323, Fuji Bldg. 2-3, Marunouchi 3-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1000005 (JP)
Données relatives à la priorité :
2005-138502 11.05.2005 JP
Titre (EN) PLASMA CLEANING METHOD AND FILM FORMING METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE NETTOYAGE AU PLASMA ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE PELLICULE
(JA) プラズマクリーニング方法および成膜方法
Abrégé : front page image
(EN)A plasma cleaning method for cleaning inside of a treatment chamber of a film forming apparatus by using plasma. The treatment chamber is supplied with the plasma, which is generated from a cleaning gas by a remote plasma unit arranged outside the treatment chamber, through a gas introducing section provided with a discharge preventing member. The plasma deactivated by passing through the gas introducing section is reactivated by a plasma generating means arranged in the treatment chamber, and inside of the treatment chamber is cleaned by the reactivated plasma.
(FR)Procédé de nettoyage au plasma pour nettoyer l’intérieur d’une chambre de traitement d’un dispositif de fabrication de pellicule au moyen de plasma. La chambre de traitement est alimentée en plasma, lequel est généré à partir d’un gaz nettoyant par une unité de plasma distante disposée à l’extérieur de la chambre de traitement, via une section d’introduction de gaz équipée d’un élément de prévention de décharge. Le plasma désactivé par son passage par la section d’introduction de gaz est réactivé par un moyen de génération de plasma disposé dans la chambre de traitement, et l’intérieur de la chambre de traitement est nettoyé par le plasma réactivé.
(JA) プラズマを利用して成膜装置の処理容器内のクリーニングを行なうプラズマクリーニング方法が開示される。クリーニング時に、処理容器外に設けられたリモートプラズマユニットにより生成したクリーニングガス由来のプラズマを、放電防止部材が設けられたガス導入部を介して処理容器内に供給する。ガス導入部を通過することにより失活したプラズマは、処理容器に設けられたプラズマ生成手段により再活性化され、この再活性化されたプラズマを用いて処理容器内のクリーニングが行われる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)