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1. (WO2006120942) DISPOSITIF GÉNÉRATEUR DE PLASMA ET PROCÉDÉ DE GÉNÉRATION DE PLASMA
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/120942    N° de la demande internationale :    PCT/JP2006/308989
Date de publication : 16.11.2006 Date de dépôt international : 28.04.2006
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    11.12.2006    
CIB :
H05H 1/24 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01), H05G 2/00 (2006.01), H05H 1/04 (2006.01)
Déposants : Tokyo Institute of Technology [JP/JP]; 12-1, Ookayama 2-chome, Meguro-ku, Tokyo 1528550 (JP) (Tous Sauf US).
HORIOKA, Kazuhiko [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MASNAVI, Majid [IR/JP]; (JP) (US Seulement).
HOTTA, Eiki [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : HORIOKA, Kazuhiko; (JP).
MASNAVI, Majid; (JP).
HOTTA, Eiki; (JP)
Mandataire : MATSUYAMA, Masayuki; No.403, Ginyou Bldg., 9-40, Kitasaiwai 2-chome, Nishi-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2200004 (JP)
Données relatives à la priorité :
2005-134796 06.05.2005 JP
2006-005683 13.01.2006 JP
Titre (EN) PLASMA GENERATING APPARATUS AND PLASMA GENERATING METHOD
(FR) DISPOSITIF GÉNÉRATEUR DE PLASMA ET PROCÉDÉ DE GÉNÉRATION DE PLASMA
(JA) プラズマ発生装置及びプラズマ発生方法
Abrégé : front page image
(EN)A plasma generating apparatus which generates plasma in an electric discharge chamber is provided with a plurality of electrodes arranged in the electric discharge chamber; a power supply device, which permits a discharge current to flow between the electrodes to have plasma between the electrodes self-heat, and gives a self magnetic field to the plasma; and a control section for controlling the power supply device. The plasma generating apparatus or a plasma generating method is provided for confining the plasma in the space by controlling the power supply device by the control section, and for improving conversion efficiency of extreme ultraviolet (EUV).
(FR)Le dispositif générateur de plasma générant du plasma dans une chambre de décharge électrique selon l'invention comporte une pluralité d'électrodes disposées dans la chambre de décharge électrique ; un dispositif d’alimentation en énergie permettant la circulation d’un courant de décharge entre les électrodes pour provoquer l’autochauffage du plasma entre les électrodes, et confère au plasma son propre champ magnétique ; et une section de commande pour commander le dispositif d’alimentation en énergie. L’invention concerne le dispositif générateur de plasma ou un procédé de génération de plasma destinés à confiner le plasma dans l'espace en commandant le dispositif d’alimentation en énergie grâce à la section de commande, et à améliorer l'efficacité de conversion des ultra-violets extrêmes (EUV).
(JA) 放電室内にプラズマを発生するプラズマ発生装置において、放電室内に配置された複数の電極と、電極間に放電電流を流し、電極間のプラズマを自己加熱すると共にプラズマに自己磁場を付与する電源装置と、電源装置を制御する制御部と、を備え、制御部により電源装置を制御してプラズマを空間に閉じ込める、プラズマ発生装置、又は、プラズマ発生方法であり、極端紫外光(EUV)の変換効率を改善するものである。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)