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1. (WO2006120917) DISPOSITIF DE CONTROLE D'ECHANTILLON
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/120917    N° de la demande internationale :    PCT/JP2006/308843
Date de publication : 16.11.2006 Date de dépôt international : 27.04.2006
CIB :
H01J 37/21 (2006.01)
Déposants : EBARA CORPORATION [JP/JP]; 11-1, Haneda Asahi-cho, Ohta-ku, Tokyo 1448510 (JP) (Tous Sauf US).
KIMBA, Toshifumi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : KIMBA, Toshifumi; (JP)
Mandataire : SHAMOTO, Ichio; YUASA AND HARA, Section 206, New Ohtemachi Bldg. 2-1, Ohtemachi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000004 (JP)
Données relatives à la priorité :
2005-134136 02.05.2005 JP
Titre (EN) SAMPLE INSPECTION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE CONTROLE D'ECHANTILLON
(JA) 試料検査装置
Abrégé : front page image
(EN)It is possible to eliminate charge-up when creating a focus map for an electron beam device for inspecting a sample. An auto focus (AF) control device (2) controls to move an actuator (38) for moving a focus lens (32) of an optical microscope (3) while acquiring a contrast signal from the optical microscope (3) for each of the focus measurement points on the surface of a sample (W) under control of a PC device (1), thereby automatically focusing on the surface of the sample (W) and detecting a focus value of the optical microscope corresponding to a position (height) of the sample surface in the optical axis direction. The PC device (1) receives the detected focus value, converts the focus value to voltage to be applied to the electrostatic lens of the electron beam device (100) during actual sample inspection, and store the converted value.
(FR)La présente invention permet d'éliminer l'accumulation de charge lors de la création d'un plan de focalisation pour un faisceau d'électrons destiné au contrôle d'un échantillon. Un dispositif de commande (2) de focalisation automatique géré par un système informatique (1) contrôle un actionneur (38) servant à déplacer la lentille de focalisation (32) d'un microscope optique (3) et acquiert un signal de contraste du microscope optique (3) pour chaque point de mesure de focalisation à la surface d'un échantillon (W). De cette façon, ledit dispositif de commande (2) assure la focalisation automatique sur la surface de l'échantillon (W) et détecte une valeur de focalisation du microscope optique correspondant à une position (hauteur) de la surface de l'échantillon dans la direction de l'axe optique. Le système informatique (1) reçoit la valeur de focalisation détectée, la convertit en une tension à appliquer à la lentille électrostatique du dispositif à faisceau d'électrons (100) durant le contrôle effectif de l'échantillon et enregistre la valeur convertie.
(JA)not available
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)