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1. (WO2006119011) CONTROLEUR POLYVALENT DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEURS AVEC DES TEMPS DE REPONSE STATISTIQUEMENT REPETITIFS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/119011    N° de la demande internationale :    PCT/US2006/016212
Date de publication : 09.11.2006 Date de dépôt international : 28.04.2006
CIB :
G06F 15/00 (2006.01), G06F 19/00 (2011.01)
Déposants : MKS INSTRUMENTS, INC. [US/US]; 6 Shattuck Road, Andover, Massachusetts 01810 (US) (Tous Sauf US).
ROZENBOIM, Leonid [IL/US]; (US) (US Seulement).
GOSCH, David, Michael [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : ROZENBOIM, Leonid; (US).
GOSCH, David, Michael; (US)
Mandataire : BEFFEL, Ernest, J., Jr.; HAYNES BEFFEL & WOLFELD LLP, P.O. Box 366, Half Moon Bay, California 94019 (US)
Données relatives à la priorité :
60/676,770 02.05.2005 US
11/411,005 25.04.2006 US
Titre (EN) VERSATILE SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CONTROLLER WITH STATISTICALLY REPEATABLE RESPONSE TIMES
(FR) CONTROLEUR POLYVALENT DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEURS AVEC DES TEMPS DE REPONSE STATISTIQUEMENT REPETITIFS
Abrégé : front page image
(EN)The I/O controller with related processes used for semiconductor manufacturing in which a tool host can delegate data collection and monitoring and control tasks (127). Wherein the process I/O controllers can perform more than one task of data collection or monitoring or control and response to commands from a tool host with statistically repeatable performance and precision. The embodiments described herein use prioritized real time operating systems to control the semiconductor manufacturing tool and data collection from tools associated with the sensors. The statistically repeatable responsiveness to selected commands and to sensor inputs during the selected recipe steps effectively reduces jitter.
(FR)La présente invention concerne des contrôleurs E/S de processus, destinés à la fabrication de semi-conducteurs, auxquels un hôte d'outils peut transmettre les tâches de collecte de données, de surveillance et de commande. L'invention concerne plus particulièrement des contrôleurs E/S de processus qui peuvent effectuer plus d'une opération de collecte de données, de surveillance, de contrôle et de réponse aux commandes d'un hôte d'outils avec des performances et une précision statistiquement répétitives. Les modes de réalisation décrits utilisent des systèmes d'exploitation prioritisés en temps réel pour contrôler la fabrication d'outils semi-conducteurs et la collecte de données à partir d'un outil associé à des capteurs. La capacité de réponse statistiquement répétitive aux commandes sélectionnées et aux entrées de capteurs pendant les stades de réception sélectionnés permet de réduire efficacement la gigue.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)