WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2006118118) MECANISME DE BALAYAGE POUR MICROSCOPE A SONDE DE BALAYAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/118118    N° de la demande internationale :    PCT/JP2006/308662
Date de publication : 09.11.2006 Date de dépôt international : 25.04.2006
CIB :
G01B 21/00 (2006.01), G01B 21/30 (2006.01), G01Q 10/00 (2010.01), G01Q 10/04 (2010.01), G01Q 30/18 (2010.01)
Déposants : OLYMPUS CORPORATION [JP/JP]; 43-2, Hatagaya 2-chome, Shibuya-ku, Tokyo 1510072 (JP) (Tous Sauf US).
UE, Yoshihiro [JP/JP]; (US Seulement)
Inventeurs : UE, Yoshihiro;
Mandataire : SUZUYE, Takehiko; c/o Suzuye & Suzuye 1-12-9, Toranomon, Minato-ku Tokyo 1050001 (JP)
Données relatives à la priorité :
2005-129468 27.04.2005 JP
Titre (EN) SCANNING MECHANISM FOR SCANNING PROBE MICROSCOPE
(FR) MECANISME DE BALAYAGE POUR MICROSCOPE A SONDE DE BALAYAGE
(JA) 走査型プローブ顕微鏡用走査機構
Abrégé : front page image
(EN)A scanning mechanism for a scanning probe microscope is provided with an XY stage composed of a movable section (4), an XY elastic member, Z elastic members (7A, 7B) and a fixing section (5); a fixing table (1) for fixing the XY stage; an X piezoelectric body (2A) for moving the movable section (4) in an X direction; a Y piezoelectric body for moving the movable section (4) in a Y direction; a substrate (11) fixed on an upper plane of the movable section (4); a Z piezoelectric body (3) fixed on an upper plane of the substrate (11) for moving a moving object in a Z direction; a cover (9) for covering almost the entire movable section (4), X piezoelectric body (2A) and Y piezoelectric body; and a damping member (10) arranged between the movable section (4) and the cover (9) in the periphery of the Z piezoelectric body (3). An upper end of the Z piezoelectric body (3) is positioned higher than an upper plane of the cover (9).
(FR)L’invention porte sur un mécanisme de balayage pour un microscope à sonde de balayage pourvu d’un étage XY composé d’une section mobile (4), d’un membre élastique XY, de membres élastiques Z (7A, 7B) et d’une section de fixation (5) ; d’une table de fixation (1) pour fixer l’étage XY ; d’un corps piézoélectrique X (2A) pour déplacer la section mobile (4) dans une direction X ; d’un corps piézoélectrique Y pour déplacer la section mobile (4) dans une direction Y ; d’un substrat (11) fixé sur un plan supérieur de la section mobile (4) ; d’un corps piézoélectrique Z (3) fixé sur un plan supérieur du substrat (11) pour déplacer un objet mobile dans une direction Z ; d’un couvercle (9) pour couvrir presque l’ensemble de la section mobile (4), un corps piézoélectrique X (2A) et un corps piézoélectrique Y ; et d’un membre amortisseur (10) disposé entre la section mobile (4) et le couvercle (9) dans la périphérie du corps piézoélectrique Z (3). Une extrémité supérieure du corps piézoélectrique Z (3) est positionné plus haut que le plan supérieur du couvercle (9).
(JA) 走査型プローブ顕微鏡用走査機構は、可動部(4)とXY弾性部材とZ弾性部材(7Aと7B)と固定部(5)とからなるXYステージと、XYステージが固定される固定台(1)と、可動部(4)をX方向に移動させるX圧電体(2A)と、可動部(4)をY方向に移動させるY圧電体と、可動部(4)の上面に固定された基板(11)と、基板(11)の上面に固定された、移動対象物をZ方向に移動させるZ圧電体(3)と、可動部(4)とX圧電体(2A)とY圧電体のほとんどを覆うカバー(9)と、Z圧電体(3)の周囲の可動部(4)とカバー(9)の間に設けられたダンピング部材(10)とを有し、Z圧電体(3)の上端がカバー(9)の上面よりも高い位置に位置している。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)