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1. (WO2006117145) PROCEDE DE REVETEMENT UTILISE DANS LA FABRICATION OU LE RETRAITEMENT DE CIBLES DE PULVERISATION ET D'ANODES A RAYONS X
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/117145    N° de la demande internationale :    PCT/EP2006/003969
Date de publication : 09.11.2006 Date de dépôt international : 28.04.2006
CIB :
C23C 14/34 (2006.01), C23C 24/04 (2006.01), H01J 35/00 (2006.01)
Déposants : H.C. STARCK GMBH [DE/DE]; Im Schleeke 78-91, 38642 Goslar (DE) (Tous Sauf US).
H.C. STARCK INC. [US/US]; 45 Industrial Place, Newton, Massachusetts 02461-1951 (US) (Tous Sauf US).
ZIMMERMANN, Stefan [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
PAPP, Uwe [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
KELLER, Hans [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
MILLER, Steven, Alfred [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : ZIMMERMANN, Stefan; (DE).
PAPP, Uwe; (DE).
KELLER, Hans; (DE).
MILLER, Steven, Alfred; (US)
Mandataire : PERCHENEK, Nils; Bayer MaterialScience AG, Law and Patents, Patents and Licensing, 51368 Leverkusen (DE)
Données relatives à la priorité :
60/678,052 05.05.2005 US
Titre (EN) COATING PROCESS FOR MANUFACTURE OR REPROCESSING OF SPUTTER TARGETS AND X-RAY ANODES
(FR) PROCEDE DE REVETEMENT UTILISE DANS LA FABRICATION OU LE RETRAITEMENT DE CIBLES DE PULVERISATION ET D'ANODES A RAYONS X
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed is a process for the reprocessing or production of a sputter target or an X-ray anode wherein a gas flow forms a gas/powder mixture with a powder of a material chosen from the group consisting of niobium, tantalum, tungsten, molybdenum, titanium, zirconium, mixtures of two or more thereof and alloys thereof with at least two thereof or with other metals, the powder has a particle size of 0.5 to 150 µm, wherein a supersonic speed is imparted to the gas flow and the jet of supersonic speed is directed on to the surface of the object to be reprocessed or produced.
(FR)L'invention concerne un procédé de retraitement ou de production d'une cible de pulvérisation ou d'une anode à rayons X, dans lequel un flux de gaz forme un mélange de gaz/poudre avec une poudre faite d'un matériau choisi dans le groupe composé de niobium, tantale, tungstène, molybdène, titane, zirconium, des mélanges de deux ou de plusieurs d'entre eux et des alliages de ceux-ci, avec au moins deux desdits éléments ou avec d'autres métaux. La poudre présente une dimension de particule de 0,5 à 150 µm. Une vitesse supersonique est conférée au flux de gaz, et le jet à vitesse supersonique est dirigé sur la surface de l'objet à retraiter ou à produire.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)