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1. (WO2006117119) NACELLES DE VAPORISATION CERAMIQUES, PROCEDE POUR LES PRODUIRE ET UTILISATION DE CELLES-CI
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/117119    N° de la demande internationale :    PCT/EP2006/003886
Date de publication : 09.11.2006 Date de dépôt international : 26.04.2006
CIB :
C23C 14/24 (2006.01), C23C 14/26 (2006.01), C04B 41/87 (2006.01), C04B 41/89 (2006.01), C04B 41/90 (2006.01)
Déposants : ESK CERAMICS GMBH & CO. KG [DE/DE]; Max-Schaidhauf-Strasse 25, 87437 Kempten (DE) (Tous Sauf US).
LESNIAK, Christoph [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
LANGE, Dietrich [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
SEIFERT, Martin [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : LESNIAK, Christoph; (DE).
LANGE, Dietrich; (DE).
SEIFERT, Martin; (DE)
Mandataire : TER MEER, N.; Mauerkircherstrasse 45, 81679 München (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2005 020 945.9 04.05.2005 DE
Titre (DE) KERAMISCHE VERDAMPFERSCHIFFCHEN, VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG UND IHRE VERWENDUNG
(EN) CERAMIC EVAPORATOR CRUCIBLES, METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF, AND USE THEREOF
(FR) NACELLES DE VAPORISATION CERAMIQUES, PROCEDE POUR LES PRODUIRE ET UTILISATION DE CELLES-CI
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Verdampferschiffchen aus einem elektrisch leitfähigen keramischen Trägermaterial für die Bedampfung von Substraten mit Metallen, dadurch gekennzeichnet, dass auf der Oberfläche des Verdampferschiffchens, von der die Verdampfung der Metalle erfolgt, eine der folgenden Beschichtungen vorgesehen ist: a) eine Beschichtung mindestens eines Borids eines Übergangsmetalls der 4. bis 6. Nebengruppe des Periodensystems, b) eine Beschichtung aus einer Mischung des zu verdampfenden Metalls und mindestens einem Übergangsmetall der 4. bis 6. Nebengruppe des Periodensystems und/oder deren Boriden, c) eine erste Beschichtung aus mindestens einem Übergangsmetall der 4. bis 6. Nebengruppe des Periodensystems und/oder deren Boriden und eine darauf aufgebrachte Beschichtung aus dem zu verdampfenden Metall. Die erfindungsgemäßen Verdampferschiffchen zeigen eine gute Erstbenetzung für die zu verdampfenden Metalle, so dass die Verdampfung spritzerarm und gleichmäßig durchgeführt werden kann.
(EN)The invention relates to an evaporator crucible made of an electrically conductive ceramic support material for vaporizing substrates with metals. Said evaporator crucible is characterized in that one of the following coatings is provided on the surface of the evaporator crucible from which the metals are evaporated: a) a coating made of at least one boride of a transition metal of subgroup 4 to 6 of the periodic system; b) a coating made of a mixture of the metal that is to be evaporated and at least one transition metal of subgroup 4 to 6 of the periodic system and/or the borides thereof; c) a first coating made of at least one transition metal of subgroup 4 to 6 of the periodic system and/or the borides thereof and a coating which is applied thereto and is made of the metal that is to be evaporated. The inventive evaporator crucibles are provided with good initial wetting power for the metals that are to be evaporated such that the evaporation process can be carried out uniformly and with little splashing.
(FR)La présente invention concerne une nacelle de vaporisation constituée d'un matériau de support céramique électroconducteur et conçue pour la vaporisation de substrats avec des métaux. Cette invention est caractérisée en ce que la surface de la nacelle de vaporisation sur laquelle la vaporisation des métaux a lieu présente un des revêtements suivants : a) un revêtement constitué d'au moins un borure d'un métal de transition des sous-groupes 4 à 6 du tableau périodique, b) un revêtement constitué d'un mélange du métal à vaporiser et d'au moins un métal de transition des sous-groupes 4 à 6 du tableau périodique et/ou de borures de celui-ci, c) un premier revêtement constitué d'au moins un métal de transition des sous-groupes 4 à 6 du tableau périodique et/ou de borures de celui-ci et un revêtement appliqué sur celui-ci, constitué du métal à vaporiser. Les nacelles de vaporisation selon cette invention présentent un bon mouillage initial pour les métaux à vaporiser, ce qui permet d'effectuer une vaporisation avec peu de projections et de manière uniforme.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)