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1. (WO2006116263) PROCEDES ET APPAREIL DE NETTOYAGE D'UN BORD D'UN SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/116263    N° de la demande internationale :    PCT/US2006/015399
Date de publication : 02.11.2006 Date de dépôt international : 24.04.2006
CIB :
H01L 21/00 (2006.01), B08B 1/04 (2006.01), G03D 5/06 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue, Santa Clara, California 95054 (US)
Inventeurs : HSU, Wei-Yung; (US).
OLGADO, Donald, J., K.; (US).
SHIN, Ho-Seon; (US).
CHEN, Liang-Yuh; (US)
Mandataire : DUGAN, Brian, M.; Dugan & Dugan, PC, 55 South Broadway, Tarrytown, New York 10591 (US)
Données relatives à la priorité :
60/674,910 25.04.2005 US
Titre (EN) METHODS AND APPARATUS FOR CLEANING AND EDGE OF A SUBSTRATE
(FR) PROCEDES ET APPAREIL DE NETTOYAGE D'UN BORD D'UN SUBSTRAT
Abrégé : front page image
(EN)In one aspect, an apparatus for cleaning an edge of a substrate is provided. The apparatus includes (1) one or more rollers of a first diameter adapted to contact an edge of a substrate and rotate the substrate; and (2) one or more rollers of a second diameter that is larger than the first diameter adapted to contact an edge of the substrate and to clean the edge of the substrate. The one or more rollers of the first diameter and the one or more rollers of the second diameter may be adapted to rotate at substantially the same speed. Numerous other aspects are provided.
(FR)Dans un aspect de cette invention est présenté un appareil de nettoyage d'un bord d'un substrat. Ledit appareil comprend (1) au moins un cylindre d'un premier diamètre conçu pour rentrer en contact avec un bord d'un substrat et faire tourner le substrat et (2) au moins un cylindre d'un second diamètre plus grand que le premier diamètre conçu pour rentrer en contact avec un bord du substrat et nettoyer ledit bord. Le cylindre de premier diamètre et le cylindre de second diamètre sont élaborés pour tourner pratiquement à la même vitesse. Ladite invention concerne, aussi, plusieurs autres aspects.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)