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1. (WO2006115926) PROCEDE DE DISTRIBUTION DE GAZ ET SYSTEME COMPRENANT UN CONTROLEUR DE RAPPORTS DE DEBITS UTILISANT UN CONTROLE OPTIMAL ANTISYMETRIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/115926    N° de la demande internationale :    PCT/US2006/014682
Date de publication : 02.11.2006 Date de dépôt international : 20.04.2006
CIB :
G05D 11/13 (2006.01)
Déposants : MKS INSTRUMENTS, INC. [US/US]; 90 Industrial Way, Willimington, Massachusetts 01887 (US) (Tous Sauf US)
Inventeurs : DING, Junhua; (US).
SMITH, John, A.; (US).
ZARKAR, Kaveh, H.; (US)
Mandataire : KUSMER, Toby, H.; MCDERMOTT WILL & EMERY LLP, 28 State Street, Boston, Massachusetts 02109 (US)
Données relatives à la priorité :
11/111,646 21.04.2005 US
Titre (EN) GAS DELIVERY METHOD AND SYSTEM INCLUDING A FLOW RATIO CONTROLLER USING ANTISYMMETRIC OPTIMAL CONTROL
(FR) PROCEDE DE DISTRIBUTION DE GAZ ET SYSTEME COMPRENANT UN CONTROLEUR DE RAPPORTS DE DEBITS UTILISANT UN CONTROLE OPTIMAL ANTISYMETRIQUE
Abrégé : front page image
(EN)The antisymmetric optimal control algorithm is disclosed for a gas delivery system including a flow ratio controller (106) for dividing a single mass flow into at least two flow lines (122a, 122b) . Each flow line includes a flow meter (124) and a valve (126) . Both valves of the flow ratio controller are controlled through a ratio feedback loop by the antisymmetric optimal controller which includes a single input single output SISO controller, an inverter and two linear saturators . The output of the SISO controller is split and modified before being applied to the two valves. The two valve control commands are virtually antisymmetric to the maximum allowable valve conductance position. Due to the fact that these two valve commands are passing through respective linear saturators with the maximum allowable valve conductance position as one of the two saturation limits, the net effect is that one valve is kept at the maximum allowable valve conduction position at any moment of time while the other is actively controlled to maintain the flow ratio.
(FR)L'invention concerne un algorithme de contrôle optimal antisymétrique pour un système de distribution de gaz comprenant un contrôleur de rapport de débits permettant de diviser un débit massique unique dans au moins deux conduites d'écoulement. Chaque conduite d'écoulement comprend un débitmètre et une vanne. Les deux vannes du contrôleur de rapport de débits sont contrôlées à travers une boucle de rétroaction de rapport par le contrôleur optimal antisymétrique qui comprend un contrôleur SISO d'entrée unique sortie unique, un inverseur et deux saturateurs linéaires. La sortie du contrôleur SISO est divisée et modifiée avant d'être appliquée aux deux vannes. Les deux commandes de contrôle de vannes sont pratiquement antisymétriques par rapport à la position de débit autorisée maximale. Du fait que lesdites deux commandes de vannes passent par des saturateurs linéaires respectifs présentant la position de débit autorisée maximale en tant qu'une des deux limites de saturation, l'effet net est qu'une vanne est maintenue à la position de débit autorisée maximale à n'importe quel instant tandis que l'autre est contrôlée activement afin de maintenir le rapport de débits.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)