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1. (WO2006115406) DISPOSITIF DE SUPPORT D'UN SUBSTRAT, AINSI QUE PROCEDE DE FABRICATION D'UN TEL DISPOSITIF
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/115406    N° de la demande internationale :    PCT/NL2006/000226
Date de publication : 02.11.2006 Date de dépôt international : 26.04.2006
CIB :
H01L 21/683 (2006.01), C04B 35/83 (2006.01), C04B 35/565 (2006.01), C04B 38/00 (2006.01), C04B 41/91 (2006.01)
Déposants : XYCARB CERAMICS B.V. [NL/NL]; Zuiddijk 4, NL-5705 CS Helmond (NL) (Tous Sauf US).
VAN DUIJN, Willem, Pieter [NL/NL]; (NL) (US Seulement).
PAS, Carolus, Wilhelmus [NL/NL]; (NL) (US Seulement)
Inventeurs : VAN DUIJN, Willem, Pieter; (NL).
PAS, Carolus, Wilhelmus; (NL)
Mandataire : VALKONET, Rutger; Algemeen Octrooi-en Merkenbureau, P.O. Box 645, NL-5600 AP Eindhoven (NL)
Données relatives à la priorité :
1028867 26.04.2005 NL
Titre (EN) DEVICE FOR SUPPORTING A SUBSTRATE, AS WELL AS A METHOD FOR MANUFACTURING SUCH A DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE SUPPORT D'UN SUBSTRAT, AINSI QUE PROCEDE DE FABRICATION D'UN TEL DISPOSITIF
Abrégé : front page image
(EN)The invention relates to a device (10) for supporting a substrate during the manufacture of semiconductor components, comprising a substantially flat plate with an upper surface (11) on which the substrate can be positioned. The invention also relates to a method for manufacturing such a device (10). The object of the invention is to provide a device (10) according to the preamble, which is of inexpensive and simple construction but which also allows the passage of a process gas in the direction of the substrate under certain manufacturing conditions, for example for supplying a protective gas to the substrate or having the substrate rest on an air cushion. According to the invention, the upper surface (11) of the plate is at least partially porous (14). Thus, costly and extremely precise machining of the device (10), as usually required in the current state of the art, is unnecessary, thereby making it possible to manufacture the device (10) at much lower cost.
(FR)L'invention concerne le dispositif (10) permettant de soutenir un substrat pendant la fabrication de composants semi-conducteurs. Ce dispositif comprend une plaque pratiquement plane pourvue d'une surface supérieure (11), sur laquelle peut être positionné le substrat. C'est invention a aussi pour objet un procédé de fabrication d'un tel dispositif (10). L'objet de cette invention consiste à engendrer un dispositif (10) selon le préambule, à savoir, un dispositif de construction simple et peu coûteux mais qui permet également le passage d'un gaz de procédé dans la direction du substrat dans certaines conditions de fabrication, par exemple, par acheminement d'un gaz protecteur jusqu'au substrat ou par disposition du substrat sur un coussin d'air. Selon ladite invention, la surface supérieure (11) de la plaque est au moins partiellement poreuse (14). Ainsi, l'usinage extrêmement précis et coûteux du dispositif (10) généralement requis dans l'état de la technique actuelle, n'est pas nécessaire, ce qui rend possible la fabrication du dispositif (10) à un coût beaucoup plus réduit.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : néerlandais; flamand (NL)