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1. (WO2006115277) DISPOSITIF DE TRANSFERT DE GALETTES, DISPOSITIF DE POLISSAGE ET PROCÉDÉ DE RÉCEPTION DE GALETTES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/115277    N° de la demande internationale :    PCT/JP2006/308785
Date de publication : 02.11.2006 Date de dépôt international : 20.04.2006
CIB :
H01L 21/677 (2006.01), B24B 37/04 (2012.01), H01L 21/304 (2006.01)
Déposants : EBARA CORPORATION [JP/JP]; 11-1, Haneda Asahi-cho, Ohta-ku, Tokyo 1448510 (JP) (Tous Sauf US).
TAKAHASHI, Nobuyuki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
SONE, Tadakazu [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
KOBAYASHI, Takuji [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
TORII, Hiroomi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : TAKAHASHI, Nobuyuki; (JP).
SONE, Tadakazu; (JP).
KOBAYASHI, Takuji; (JP).
TORII, Hiroomi; (JP)
Mandataire : WATANABE, Isamu; GOWA Nishi-Shinjuku 4F, 5-8, Nishi-Shinjuku 7-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1600023 (JP)
Données relatives à la priorité :
2005-124093 21.04.2005 JP
Titre (EN) WAFER TRANSFER APPARATUS, POLISHING APPARATUS AND WAFER RECEIVING METHOD
(FR) DISPOSITIF DE TRANSFERT DE GALETTES, DISPOSITIF DE POLISSAGE ET PROCÉDÉ DE RÉCEPTION DE GALETTES
(JA) ウエハ受渡装置、ポリッシング装置、及びウエハ受け取り方法
Abrégé : front page image
(EN)A wafer transfer apparatus is provided with a top ring (60) for holding a wafer (W) on a lower end plane, and a pusher mechanism (10) for transferring the wafer (W) to and from the top ring (60). The pusher mechanism (10) is provided with a wafer placing section (40a) for placing the wafer (W), and is constituted so that the wafer (W) separated from the lower end plane of the top ring (60) is placed on the wafer placing section (40a). The pusher mechanism (10) is provided with a sensor mechanism (50) for detecting that the wafer (W) is correctly placed on the wafer placing section (40a). In the sensor mechanism (50), sensor light projected from a projector (51) is blocked by the wafer (W) placed on the wafer placing section (40a).
(FR)La présente invention concerne un dispositif de transfert de galettes comportant un anneau supérieur (60) maintenant une galette (W) sur un plan d'extrémité inférieur, et un mécanisme de poussée (10) pour transférer la galette (W) vers et depuis l'anneau supérieur (60). Le mécanisme de poussée (10) comporte une section de placement de galette (40a) pour placer la galette (W) et est constitué de sorte que la galette (W) séparée du plan d'extrémité inférieur de l'anneau supérieur (60) est placée sur la section de placement de galette (40a). Le mécanisme de poussée (10) comporte un mécanisme capteur (50) pour détecter si la galette (W) est correctement placée sur la section de placement de galette (40a). Dans le mécanisme capteur (50), une lumière de capture projetée depuis un projecteur (51) est bloquée par la galette (W) placée sur la section de placement de galette (40a)
(JA)ウエハ受渡装置は、下端面にウエハ(W)を保持するトップリング(60)と、トップリング(60)との間でウエハ(W)の受け渡しを行うプッシャー機構(10)とを備えている。プッシャー機構(10)は、ウエハ(W)を載置するウエハ載置部(40a)を備え、トップリング(60)の下端面から離脱したウエハ(W)がウエハ載置部(40a)に着座するように構成される。プッシャー機構(10)は、ウエハ(W)がウエハ載置部(40a)に適正に着座したことを検知するセンサ機構(50)を備える。センサ機構(50)は、投光装置(51)から投光されたセンサ光が、ウェハ載置部(40a)に着座したウエハ(W)によって遮断されるようになっている。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)