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1. (WO2006114944) DISPOSITIF DE MESURE DE VARIATION DE COURANT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/114944    N° de la demande internationale :    PCT/JP2006/304747
Date de publication : 02.11.2006 Date de dépôt international : 10.03.2006
CIB :
G01R 31/311 (2006.01), G01R 19/12 (2006.01)
Déposants : HAMAMATSU PHOTONICS K.K. [JP/JP]; 1126-1, Ichino-cho, Hamamatsu-shi, Shizuoka 4358558 (JP) (Tous Sauf US).
IIDA, Hitoshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
NAKAJIMA, Yuji [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
KUMAGAI, Michiko [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : IIDA, Hitoshi; (JP).
NAKAJIMA, Yuji; (JP).
KUMAGAI, Michiko; (JP)
Mandataire : HASEGAWA, Yoshiki; SOEI PATENT AND LAW FIRM Ginza First Bldg. 10-6, Ginza 1-chome Chuo-ku, Tokyo 1040061 (JP)
Données relatives à la priorité :
2005-124012 21.04.2005 JP
Titre (EN) CURRENT VARIATION MEASURING APPARATUS
(FR) DISPOSITIF DE MESURE DE VARIATION DE COURANT
(JA) 電流変化測定装置
Abrégé : front page image
(EN)A current variation measuring apparatus (1) comprises a voltage source (30) for energizing a measured material (10) including a semiconductor circuit; a beam irradiating means (20) for irradiating a laser beam onto the measured material (10) by causing the laser beam to scan it; and a current/voltage converting means (40) for measuring the amount of current variation, which is caused by the beam irradiation, in the measured material (10) which is energized by the voltage source (30) and to which the laser beam is irradiated by the beam irradiating means (20). The current/voltage converting means (40) has an amplifier (41) having an input terminal connected to the measured material (10), and also has a transformer (42) connected between the output and input terminals of the amplifier (41). In this case, since the current/voltage converting means uses the transformer, the amount of current variation caused by the beam irradiation can be selected from among the currents flowing into the current/voltage converting means and can be converted to a voltage for detection. This allows the amount of current variation to be measured with high precision even for a measured material that exhibits a large resting current.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de mesure de variation de courant (1) qui comprend une source de tension (30) pour alimenter un élément mesuré (10) incluant un circuit à semi-conducteurs, un élément d'application de faisceau (20) pour appliquer un faisceau laser sur l'élément mesuré (10) en faisant balayer ce dernier par le faisceau laser. Ledit dispositif comprend en outre un élément convertisseur de courant/tension (40) pour mesurer le volume de variation du courant, causée par l'irradiation du faisceau, dans l'élément mesuré (10) qui est alimenté par la source de tension (30) et sur lequel le faisceau laser est appliqué par l'élément d'application de faisceau (20). L'élément convertisseur de courant/tension (40) comporte un amplificateur (41) ayant une borne d'entrée connectée à l'élément mesuré (10) et comporte également un transformateur (42) connecté entre les bornes d'entrée et de sortie de l'amplificateur (41). Dans ce cas, dans la mesure où l'élément convertisseur de courant/tension utilise le transformateur, le volume de variation de courant causée par l'application du faisceau peut être sélectionné parmi les courants circulant dans l'élément convertisseur de courant/tension et peut être converti en une tension à détecter. Le volume de variation de courant peut être ainsi mesuré de manière très précise même pour un élément mesuré qui présente un important courant au repos.
(JA) 電流変化測定装置1は、半導体回路を含む被測定試料10に通電するための電圧源30と、レーザビームを走査しながら被測定試料10にレーザビームを照射するビーム照射手段20と、電圧源30によって通電され且つビーム照射手段20によってレーザビームが照射された被測定試料10でのビーム照射に伴う電流変化量を測定する電流電圧変換手段40とを備える。そして、電流電圧変換手段40は、被測定試料10に接続される入力端子を有する増幅器41と、増幅器41の出力端子と入力端子との間に接続されたトランス42とを有する。この場合、電流電圧変換手段がトランスを利用しているので、電流電圧変換手段に流れ込む電流のうちビーム照射に伴う電流変化量を選択的に電圧に変換して検出することが可能である。これにより、静止電流が大きい被測定試料に対しても電流変化量を高感度に測定可能である。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)