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1. (WO2006114781) DEPOT DE MATERIAUX
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/114781    N° de la demande internationale :    PCT/IE2006/000041
Date de publication : 02.11.2006 Date de dépôt international : 26.04.2006
CIB :
C23C 18/14 (2006.01), C23C 18/12 (2006.01), H01L 21/316 (2006.01)
Déposants : UNIVERSITY COLLEGE CORK - NATIONAL UNIVERSITY OF IRELAND, CORK [IE/IE]; College Road, Cork (IE) (Tous Sauf US).
CREAN, Gabriel, M. [IE/IE]; (IE) (US Seulement).
REDMOND, Gareth [IE/IE]; (IE) (US Seulement)
Inventeurs : CREAN, Gabriel, M.; (IE).
REDMOND, Gareth; (IE)
Mandataire : O'BRIEN, John, A.; c/o John A. O'Brien & Associates, Third Floor, Duncairn House, 14 Carysfort Avenue, Blackrock, County Dublin (IE)
Données relatives à la priorité :
2005/0254 26.04.2005 IE
Titre (EN) DEPOSITION OF MATERIALS
(FR) DEPOT DE MATERIAUX
Abrégé : front page image
(EN)A liquid injection system (10) receives a flow of host material in liquid precursor form and forms the liquid flow into a spray, which is delivered by a head (4) in a chamber (3). Nano-particle carrier liquid injector systems (11, 12) receive flows of nano-particles dispersed in liquid carriers, and form the liquid into a spray which is also delivered over the substrate wafer by the spray head (4). The sprayed material forms a deposit on the substrate in the chamber. A UV source (5) is operated so that the deposited material forms a layer on the substrate. The layer comprises nano-particles embedded in the host material.
(FR)Dans la présente invention, un système à injection de liquide (10) reçoit une charge de matériau hôte sous forme de précurseur liquide et produit à partir de cette charge liquide un brouillard qui est distribué par une tête (4) dans une chambre (3). Des systèmes d'injection (11, 12) de nanoparticules transportées en solution reçoivent les charges de nanoparticules dispersées dans les solutions et produisent un brouillard qui est également distribué au-dessus de la plaquette substrat par la tête de pulvérisation (4). Dans la chambre, le matériau pulvérisé forme un dépôt sur le substrat. Une source d'UV (5) est utilisée pour que le matériau forme une couche sur le substrat. Cette couche comprend des nanoparticules noyées dans le matériau hôte.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)