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1. (WO2006114595) PROCEDE DE GENERATION ET D'UTILISATION D'UN PROGRAMME DE CONTROLE DE TRAITEMENT DE PLASMA
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/114595    N° de la demande internationale :    PCT/GB2006/001490
Date de publication : 02.11.2006 Date de dépôt international : 25.04.2006
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    21.11.2006    
CIB :
G05B 19/418 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Déposants : OXFORD INSTRUMENTS PLASMA TECHNOLOGY LIMITED [GB/GB]; Old Station Way, Eynsham, Oxford, OX29 4TL (GB) (Tous Sauf US).
GOODYEAR, Andrew, Leonard [GB/GB]; (GB) (US Seulement).
ROSSBROOK, Philip, Douglas [GB/GB]; (GB) (US Seulement)
Inventeurs : GOODYEAR, Andrew, Leonard; (GB).
ROSSBROOK, Philip, Douglas; (GB)
Mandataire : GILL JENNINGS & EVERY LLP; Broadgate House, 7 Eldon Street, London EC2M 7LH (GB)
Données relatives à la priorité :
0508706.9 28.04.2005 GB
Titre (EN) METHOD OF GENERATING AND USING A PLASMA PROCESSING CONTROL PROGRAM
(FR) PROCEDE DE GENERATION ET D'UTILISATION D'UN PROGRAMME DE CONTROLE DE TRAITEMENT DE PLASMA
Abrégé : front page image
(EN)A method is provided of generating and using a control program for a plasma process. The method comprises obtaining predetermined process data defining, in a series of time steps, changes in at least one control parameter for the plasma process during the said process. Control data are generated' from the process data, the control data defining the at least one control parameter at a plurality of discrete times within each step. The control data are presented graphically to a user, using an interactive display device. The control data are modified in response to the operation by the user of the interactive display device, so as to generate the control program.
(FR)L'invention concerne un procédé de génération et d'utilisation d'un programme de contrôle de traitement de plasma. Le procédé consiste à obtenir des données de procédé prédéterminées définissant dans une série de phases temporaires, des changements au niveau d'au moins un paramètre de contrôle pour le procédé de plasma pendant ledit procédé. Des données de contrôle sont générées à partir des données de procédé, les données de contrôle définissant ledit au moins un paramètre de contrôle au niveau d'une pluralité de temps discrets dans chaque phase. Les données de contrôle sont présentées graphiquement à un utilisateur, à l'aide d'un dispositif d'affichage interactif. Les données de contrôle sont modifiées en réaction aux sollicitations de l'utilisateur du dispositif d'affichage interactif, de façon à générer le programme de contrôle.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)