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1. WO2006112354 - SONDE ET MÉTHODE POUR LA FABRIQUER

Numéro de publication WO/2006/112354
Date de publication 26.10.2006
N° de la demande internationale PCT/JP2006/307834
Date du dépôt international 13.04.2006
CIB
G01R 1/067 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
RMESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
1Détails ou dispositions des appareils des types couverts par les groupes G01R5/-G01R13/125
02Éléments structurels généraux
06Conducteurs de mesure; Sondes de mesure
067Sondes de mesure
CPC
G01R 1/06711
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
1Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
02General constructional details
06Measuring leads; Measuring probes
067Measuring probes
06711Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
G01R 3/00
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
3Apparatus or processes specially adapted for the manufacture ; or maintenance; of measuring instruments ; , e.g. of probe tips
Déposants
  • 東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 株式会社オクテック Octec Inc. [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 星野 智久 HOSHINO, Tomohisa [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 橋本 浩幸 HASHIMOTO, Hiroyuki [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 原田 宗生 HARADA, Muneo [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 奥村 勝弥 OKUMURA, Katsuya [JP]/[JP] (UsOnly)
Inventeurs
  • 星野 智久 HOSHINO, Tomohisa
  • 橋本 浩幸 HASHIMOTO, Hiroyuki
  • 原田 宗生 HARADA, Muneo
  • 奥村 勝弥 OKUMURA, Katsuya
Mandataires
  • 伊藤 英彦 ITOH, Hidehiko
Données relatives à la priorité
2005-12020818.04.2005JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) PROBE AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
(FR) SONDE ET MÉTHODE POUR LA FABRIQUER
(JA) プローブおよびその製造方法
Abrégé
(EN)
A probe (10) is composed of a beam section (11), which is formed in a bent planar L-shape with a supporting section (12) and a column section (13), and a contact (14), which is arranged at one end of the column section (13) to extend in the same direction as the direction in which the column section (13) extends. Both the supporting section (12) and the column section (13) are, for instance, formed of nickel or a nickel alloy having a substantially uniform thickness of approximately 70-80μm. The contact (14) has a board shape thinner than the beam section (11), and is formed of a nickel or a nickel alloy having a substantially uniform thickness of approximately 10-20μm. The contact (14) is formed to have a sharp leading edge section.
(FR)
L'invention concerne une sonde (10) qui est composée d’une section de poutre (11) de forme plane pliée en L avec une section de support (12) et une section de colonne (13), et un contact (14) qui est disposé à une extrémité de la section de colonne (13) pour s’étendre dans la même direction que la direction dans laquelle la section de colonne (13) s’étend. À la fois la section de support (12) et la section de colonne (13) sont, par exemple, constituées de nickel ou d’un alliage de nickel d’une épaisseur pour l’essentiel uniforme d’environ 70 - 80 μm. Le contact (14) a la forme d’une plaque plus fine que la section de poutre (11) et est constitué de nickel ou d’un alliage de nickel d’une épaisseur pour l’essentiel uniforme d’environ 10 - 20 μm. Le contact (14) est mis en forme pour posséder une section d’arête avant aiguisée.
(JA)
梁部11は支持部12と柱部13とでL字状の屈曲した平面形状に形成されており、柱部13の一端に、柱部13の延びる方向と同一方向に延びるように接触子14が設けられてプローブ10が構成されている。支持部12と柱部13はともに例えば約70~80μmのほぼ均一な厚みのニッケルあるいはニッケル合金で形成されており、接触子14は梁部11に比べて薄い板状で、約10~20μmのほぼ均一な厚みのニッケルあるいはニッケル合金で形成されている。接触子14は先端部を尖らせて形成されている。
Également publié en tant que
EP6731770
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