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1. (WO2006055003) SYSTEMES ET PROCEDES PERMETTANT DE PRODUIRE DES FILMS DE POLYSILICIUM A ORIENTATION CRYSTALLOGRAPHIQUE CONTROLEE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/055003    N° de la demande internationale :    PCT/US2004/039055
Date de publication : 26.05.2006 Date de dépôt international : 18.11.2004
CIB :
H01L 21/20 (2006.01), B23K 26/00 (2006.01)
Déposants : THE TRUSTEES OF COLUMBIA UNIVERSITY IN THE CITY OFNEW YORK [US/US]; 100 Low Memorial Library, 535 W. 116th Street, New York, NY 10027 (US) (Tous Sauf US).
IM, James, S. [US/US]; (US) (US Seulement).
VAN DER WILT, Paul, Christian [NE/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : IM, James, S.; (US).
VAN DER WILT, Paul, Christian; (US)
Mandataire : WALPERT, Gary, A.; Wilmer Cutler Pickering Hale and Dorr LLP, 399 Park Avenue, New York, NY 10022 (US)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) SYSTEMS AND METHODS FOR CREATING CRYSTALLOGRAPHIC-ORIENTATION CONTROLLED POLY-SILICON FILMS
(FR) SYSTEMES ET PROCEDES PERMETTANT DE PRODUIRE DES FILMS DE POLYSILICIUM A ORIENTATION CRYSTALLOGRAPHIQUE CONTROLEE
Abrégé : front page image
(EN)In accordance with one aspect, the present invention provides a method for providing polycrystalline films having a controlled microstructure as well as a crystallographic texture. The methods provide elongated grains or single-crystal islands of a specified crystallographic orientation. In particular, a method of processing a film on a substrate includes generating a textured film having crystal grains oriented predominantly in one preferred crystallographic orientation; and then generating a microstructure using sequential lateral solidification crystallization that provides a location-controlled growth of the grains orientated in the preferred crystallographic orientation.
(FR)Conformément à un aspect, l'invention a trait à un procédé permettant de produire des films polycristallins possédant une microstructure contrôlée ainsi qu'une texture cristallographique. Les procédés selon l'invention permettent d'obtenir des grains allongés ou des îlots monocristallins d'une orientation cristallographique spécifiée. En particulier, un procédé permettant de traiter un film sur un substrat consiste à générer un film texturé possédant des grains cristallins orientés principalement selon une orientation cristallographique préférée, puis à générer une microstructure par l'intermédiaire d'une cristallisation par solidification latérale séquentielle, qui permet une croissance à emplacement contrôlé des grains orientés selon l'orientation cristallographique préférée.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)