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1. (WO2006051774) PROCEDE DE DETECTION DE CORPS ETRANGER SUR UNE PLAQUE DE TRAITEMENT THERMIQUE, DISPOSITIF DE TRAITEMENT THERMIQUE, PROGRAMME ET SUPPORT D’ENREGISTREMENT INFORMATIQUE CONTENANT LE PROGRAMME
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/051774    N° de la demande internationale :    PCT/JP2005/020436
Date de publication : 18.05.2006 Date de dépôt international : 08.11.2005
CIB :
H01L 21/027 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1078481 (JP) (Tous Sauf US).
OKAMURA, Kouji [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
TOMITA, Hiroshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
IWANAGA, Shuji [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
ARAKI, Shinichiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : OKAMURA, Kouji; (JP).
TOMITA, Hiroshi; (JP).
IWANAGA, Shuji; (JP).
ARAKI, Shinichiro; (JP)
Mandataire : KANEMOTO, Tetsuo; Hazuki International Shinjuku Akebonobashi Building 1-12, Sumiyoshi-cho Shinjuku-ku, Tokyo 1620065 (JP)
Données relatives à la priorité :
2004-329374 12.11.2004 JP
2005-298967 13.10.2005 JP
Titre (EN) METHOD FOR DETECTING EXTRANEOUS MATTER ON THERMAL TREATMENT PLATE, THERMAL TREATMENT DEVICE, PROGRAM, AND COMPUTER READABLE RECORDING MEDIUM CONTAINING THE PROGRAM
(FR) PROCEDE DE DETECTION DE CORPS ETRANGER SUR UNE PLAQUE DE TRAITEMENT THERMIQUE, DISPOSITIF DE TRAITEMENT THERMIQUE, PROGRAMME ET SUPPORT D’ENREGISTREMENT INFORMATIQUE CONTENANT LE PROGRAMME
(JA) 熱処理板の付着物検出方法,熱処理装置,プログラム及びプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体
Abrégé : front page image
(EN)A thermal plate is divided into a plurality of sections. An accumulated values of temperature change of each section when a substrate is placed on the thermal plate in a normal state not having an extraneous matter is collected. According to the accumulated value during normal state, a Malanobis reference space in the judgment analysis method is created. During actual thermal treatment, an accumulated value of temperature change of each section when a substrate is placed on the thermal plate is detected. According to the accumulated value during the treatment and the Mahalanobis reference space obtained in advance, the Mahalanobis distance for the accumulated value during treatment is calculated. By comparing the calculated Mahalanobis distance to a predetermined threshold value, it is judged whether the thermal plate has any extraneous matter.
(FR)Une plaque thermique est divisée en une pluralité de sections. Le dispositif enregistre la valeur cumulée de la variation de température de chaque section lorsqu’un substrat est placé sur la plaque en état normal, sans corps étranger. Un espace référence de Mahalanobis est créé dans la méthode d’analyse d’évaluation en fonction de la valeur cumulée en état normal. Lors du traitement thermique réel, le dispositif détecte la valeur cumulée de la variation de température de chaque section lorsqu’un substrat est placé sur la plaque. En fonction de la valeur cumulée lors du traitement et de l’espace référence de Mahalanobis obtenu au préalable, la distance de Mahalanobis est calculée pour cette valeur. La comparaison de la distance de Mahalanobis calculée à une valeur limite prédéterminée permet de détecter la présence d’un corps étranger sur la plaque thermique.
(JA) 本発明においては,熱板を複数の領域に区画する。付着物がない正常な状態の熱板に基板が載置された際の各領域の温度変動の積算値を収集する。この正常時の積算値に基づいて判別分析法におけるマハラノビスの基準空間を作成する。そして,実際の熱処理時に,基板が熱板に載置されたときの各領域の温度変動の積算値を検出し,当該処理時の積算値と,予め求められていたマハラノビスの基準空間に基づいて,処理時の積算値についてのマハラノビスの距離を算出する。算出されたマハラノビスの距離と予め定めた閾値とを比較することで,熱板に付着物があるか否かを判定する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)