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1. (WO2006051745) PROCEDE DE REGULATION DE TEMPERATURE ET SYSTEME POUR LIQUIDE A BAS DEBIT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/051745    N° de la demande internationale :    PCT/JP2005/020339
Date de publication : 18.05.2006 Date de dépôt international : 07.11.2005
CIB :
H01L 21/027 (2006.01), B29C 45/73 (2006.01), F17D 1/14 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01), H01L 35/28 (2006.01)
Déposants : SMC Corporation [JP/JP]; 16-4, Shinbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058659 (JP) (Tous Sauf US).
TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1050000 (JP) (Tous Sauf US).
GOTO, Hiroyasu [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
FUKUDA, Masahiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
YAMAMOTO, Taro [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : GOTO, Hiroyasu; (JP).
FUKUDA, Masahiro; (JP).
YAMAMOTO, Taro; (JP)
Mandataire : HAYASHI, Hiroshi; c/o Shinjuku Central Patent Agency Daiichi Sky Building 9-12, Nishishinjuku 1-chome Shinjuku-ku, Tokyo 1600023 (JP)
Données relatives à la priorité :
2004-330796 15.11.2004 JP
Titre (EN) TEMPERATURE REGULATION METHOD AND SYSTEM FOR LOW FLOW RATE LIQUID
(FR) PROCEDE DE REGULATION DE TEMPERATURE ET SYSTEME POUR LIQUIDE A BAS DEBIT
(JA) 小流量液体の温調方法及びそのシステム
Abrégé : front page image
(EN)[PROBLEMS] To provide a temperature regulation method and system for low flow rate liquid, with which method and system, the liquid whose temperature is highly accurately regulated is supplied as a micro flow or an intermittent flow. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] Liquid supplied from a supply passage (3) is pressurized and introduced to a circulation passage (5). Then, while it is circulated through the circulation passage (5) by a pump (6) with the liquid held under the pressure, the liquid is regulated in temperature by a temperature regulator (7) located in the circulation passage (5). Subsequently, the liquid is supplied to an external device through a discharge passage (9), branched from the circulation passage (5), after being regulated by a discharge valve (10) in the discharge passage (9) to a micro continuous flow or a micro intermittent flow having a flow rate lower than one half of the flow rate at least in the circulation passage (5).
(FR)Le problème à résoudre dans le cadre de la présente invention est de prévoir un procédé de régulation de température et un système pour liquide à bas débit, avec lesquels procédé et système, le liquide dont la température est très précisément régulée, est fourni sous forme de micro-flux ou flux intermittent. La solution proposée consiste en ce que le liquide fourni à partir d’un passage d’alimentation (3) soit mis sous pression et introduit dans un passage de circulation (5). Puis, alors que le liquide maintenu sous pression circule à travers le passage de circulation (5) grâce à une pompe (6), sa température est régulée par un régulateur de température (7) situé dans le passage de circulation (5). Le liquide est ensuite fourni à un dispositif extérieur à travers un passage d’évacuation (9), dérivé à partir du passage de circulation (5), après avoir été régulé par une soupape d’évacuation (10) dans le passage d’évacuation (9) en un micro-flux continu ou un micro-flux intermittent ayant un débit inférieur à la moitié du débit au moins dans le passage de circulation (5).
(JA)【課題】 高精度に温調された液体を微少流または間欠流として供給するための小流量液体の温調方法及びそのシステムを提供する。 【解決手段】 供給路3から供給された液体を加圧して循環路5に導入し、その加圧状態でポンプ6により循環路5を循環させながら、循環路5中の温調器7で温調し、その液体を、循環路5から分岐させた吐出路9を通じて、吐出路9に設けた吐出弁10の調整により、少なくとも循環路5中の流量の1/2よりも小流量の微少連続流または微少間欠流として外部装置に供給する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)