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1. (WO2006049817) SYSTEMES ET PROCEDES DE FOCALISATION DE FAISCEAUX D'IONS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/049817    N° de la demande internationale :    PCT/US2005/036509
Date de publication : 11.05.2006 Date de dépôt international : 12.10.2005
CIB :
H01J 37/317 (2006.01), H01J 37/147 (2006.01)
Déposants : AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 108 Cherry Hill Drive, Beverly, Massachusetts 01915 (US) (Tous Sauf US).
BENVENISTE, Victor [US/US]; (US) (US Seulement).
KELLERMAN, Peter [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : BENVENISTE, Victor; (US).
KELLERMAN, Peter; (US)
Données relatives à la priorité :
10/967,855 18.10.2004 US
Titre (EN) SYSTEMS AND METHODS FOR ION BEAM FOCUSING
(FR) SYSTEMES ET PROCEDES DE FOCALISATION DE FAISCEAUX D'IONS
Abrégé : front page image
(EN)Systems and methods are provided for focusing a scanned ion beam in an ion implanter (110). A beam focusing system (140) is provided, comprising first and second magnets providing corresponding magnetic fields that cooperatively provide a magnetic focusing field having a time-varying focusing field center generally corresponding to a time-varying beam position of a scanned ion beam along a scan direction. Methods are presented, comprising providing a focusing field having a focusing field center in the scan plane, and dynamically adjusting the focusing field such that the focusing field center is generally coincident with a time-varying beam position of the scanned ion beam along the scan direction.
(FR)L'invention concerne des systèmes et des procédés permettant de focaliser un faisceau d'ions balayé dans un implanteur ionique. Un système de focalisation de faisceaux comprend un premier aimant et un second aimant produisant des champs magnétiques correspondants qui coopèrent pour produire un champ de focalisation magnétique présentant un centre de champ de focalisation variant dans le temps correspondant généralement à une position variant dans le temps d'un faisceau d'ions balayé le long d'une direction de balayage. Des procédés consistent à créer un champ de focalisation comprenant un centre de champ de focalisation sur le plan de balayage et à régler dynamiquement le champ de focalisation de sorte que le centre de champ de focalisation coïncide généralement avec une position variant dans le temps du faisceau d'ions balayé le long de la direction de balayage.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)