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1. (WO2006049085) APPAREIL À MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/049085    N° de la demande internationale :    PCT/JP2005/019818
Date de publication : 11.05.2006 Date de dépôt international : 27.10.2005
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    01.09.2006    
CIB :
H01L 21/683 (2006.01)
Déposants : ULVAC, INC. [JP/JP]; 2500 Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543 (JP) (Tous Sauf US).
FUJII, Yoshinori [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : FUJII, Yoshinori; (JP)
Mandataire : IISAKA, Yasuo; Utoku-building, 6-85, Benten-dori, Naka-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 231-0007 (JP)
Données relatives à la priorité :
2004-320078 04.11.2004 JP
Titre (EN) ELECTROSTATIC CHUCK APPARATUS
(FR) APPAREIL À MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE
(JA) 静電チャック装置
Abrégé : front page image
(EN)An electrostatic chuck apparatus capable of appropriately and swiftly diselectrifying a board to be processed. In an electrostatic chuck apparatus (11) for electrostatically adsorbs, by use of the surface of a support base (12), a board (W) to be processed, a diselectrifying circuit is formed which includes a diselectrifying electrode (16) facing the surface of the support base (12); a diselectrifying ground potential (19); and a diselectrifying resistor (17) connected between the diselectrifying electrode (16) and the ground potential (19). The resistance of the diselectrifying resistor (17) is established such that it is lower than that of an insulating layer (13) of the surface of the support base (12); the diselectrifying resistor (17) can hold the potential of the processed board (W) during an electrostatic chuck operation; and such that the diselectrifying resistor (17) can dissipate the potential of the processed board (W) into the ground potential (19) when the electrostatic chuck is canceled. This structure can appropriately and swiftly diselectrify the processed board (W).
(FR)L’invention concerne un appareil à mandrin électrostatique capable de désélectriser de manière judicieuse et rapidement une carte à traiter. Dans un appareil à mandrin électrostatique (11) permettant d’adsorber électrostatiquement, à l’aide de la surface d’une base de support (12), on forme une carte (W) à traiter et un circuit de désélectrification, englobant une électrode de désélectrification (16) faisant face à la surface de la base de support (12); un potentiel de masse de désélectrification (19); et une résistance de désélectrification (17) connectée entre l’électrode de désélectrification (16) et le potentiel de masse (19). On établit la résistance de désélectrification (17) à un niveau inférieur à celui d’une couche isolante (13) de la surface de la base de support (12); de sorte que la résistance de désélectrification (17) puisse maintenir le potentiel de la carte traitée (W) pendant le fonctionnement du mandrin électrostatique ; et de sorte que la résistance de désélectrification (17) puisse dissiper le potentiel de la carte traitée (W) dans le potentiel de masse (19) en cas d’annulation du mandrin électrostatique. Cette structure permet de désélectriser de manière judicieuse et rapidement la carte traitée (W).
(JA)not available
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)