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1. (WO2006046657) APPAREIL DE TRAITEMENT PAR UN LIQUIDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/046657    N° de la demande internationale :    PCT/JP2005/019815
Date de publication : 04.05.2006 Date de dépôt international : 27.10.2005
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    28.08.2006    
CIB :
B08B 3/02 (2006.01), B08B 5/00 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01), H01L 21/304 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1078481 (JP) (Tous Sauf US).
KAMIKAWA, Yuji [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : KAMIKAWA, Yuji; (JP)
Mandataire : YOSHITAKE, Kenji; Kyowa Patent & Law Office, Room 323, Fuji Bldg., 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 100-0005 (JP)
Données relatives à la priorité :
2004-313550 28.10.2004 JP
Titre (EN) LIQUID PROCESSING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT PAR UN LIQUIDE
(JA) 液処理装置
Abrégé : front page image
(EN)A liquid processing apparatus, comprising a holding device (30) holding wafers (W) in a roughly vertical attitude and a processing container (10) storing the wafers held by the holding device. A processing liquid is supplied into the processing container (10) by a processing liquid supply system. The liquid processing apparatus also comprises a rotatingly driving device (20) rotating the holding device (30) about the rotating axis thereof passing approximately the center of the wafers (W) in the state of non-contact with the processing container (10).
(FR)L'invention concerne un appareil de traitement par un liquide, comprenant un dispositif support (30) portant des plaques (W) en position à peu près verticale et une cuve de traitement (10) contenant les plaques supportées par le dispositif support. Un liquide de traitement est introduit dans la cuve de traitement (10) au moyen d'un système d'introduction de liquide de traitement. L'appareil de traitement par un liquide comprend également un dispositif d'entraînement en rotation (20) faisant tourner le dispositif support (30) autour de l'axe de rotation de celui-ci passant approximativement au centre des plaques (W) sans qu'elles soient en contact avec la cuve de traitement (10).
(JA) 液処理装置は、ウエハ(W)を略垂直姿勢に保持する保持装置(30)と、この保持装置によって保持されたウエハを収容する処理容器(10)とを備える。処理液供給システムによって、処理容器(10)内に処理液が供給される。保持装置(30)を、処理容器(10)に対して非接触な状態で、ウエハ(W)の略中心を通る回転軸線回りに回転させる回転駆動装置(20)が備えられる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)