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1. (WO2006046650) ÉLÉMENT DE SONDE POUR INSPECTION DE PLAQUETTE, CARTE DE SONDE POUR INSPECTION DE PLAQUETTE ET ÉQUIPEMENT D’INSPECTION DE PLAQUETTE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/046650    N° de la demande internationale :    PCT/JP2005/019799
Date de publication : 04.05.2006 Date de dépôt international : 27.10.2005
CIB :
G01R 1/073 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Déposants : JSR Corporation [JP/JP]; 6-10, Tsukiji 5-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040045 (JP) (Tous Sauf US).
YOSHIOKA, Mutsuhiko [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
FUJIYAMA, Hitoshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
IGARASHI, Hisao [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : YOSHIOKA, Mutsuhiko; (JP).
FUJIYAMA, Hitoshi; (JP).
IGARASHI, Hisao; (JP)
Mandataire : OHI, Masahiko; Nissenren-Asahiseimei Building 4, Kanda Surugadai 3-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1010062 (JP)
Données relatives à la priorité :
2004-315522 29.10.2004 JP
Titre (EN) PROBE MEMBER FOR WAFER INSPECTION, PROBE CARD FOR WAFER INSPECTION AND WAFER INSPECTION EQUIPMENT
(FR) ÉLÉMENT DE SONDE POUR INSPECTION DE PLAQUETTE, CARTE DE SONDE POUR INSPECTION DE PLAQUETTE ET ÉQUIPEMENT D’INSPECTION DE PLAQUETTE
(JA) ウエハ検査用探針部材、ウエハ検査用プローブカードおよびウエハ検査装置
Abrégé : front page image
(EN)A probe member, a probe card and wafer inspection equipment in which good electrical connection state is achieved surely and sustained stably with positional shift due to temperature variation prevented even in the case of a wafer having a diameter of 8 inch or longer and the extremely small pitch of electrodes being inspected. The probe member comprises a sheet-like probe consisting of a metal frame plate provided with a plurality of openings and a plurality of contact films disposed and supported on the surface thereof so as to close respective openings, each contact film being formed of a plurality of electrode structures arranged on a soft insulating film, and an anisotropic conductive connector consisting of a frame plate provided with a plurality of openings and a plurality of elastic anisotropic conductive films disposed and supported on that frame so as to close respective openings and being disposed on the rear surface of the sheet-like probe, wherein each opening of the frame plate in the sheet-like probe is large enough to receive the outline of the elastic anisotropic conductive film in the plane direction.
(FR)L’invention concerne un élément de sonde, une carte de sonde et un équipement d’inspection de plaquette permettant un bon état de connexion électrique, de manière sûre et soutenue, et permettant une suppression du décalage positionnel dû à la variation de température même pour lors de l'examen d'une plaquette d’un diamètre supérieur ou égal à 8 pouces et d'un pas d'électrodes extrêmement petit. L’élément de sonde comprend une sonde en forme de feuille consistant en une plaque de châssis métallique pourvue d’une pluralité d’ouvertures et d’une pluralité de films de contact disposés et supportés à la surface de celle-ci pour refermer les ouvertures respectives, chaque film de contact étant constitué d’une pluralité de structures d’électrode disposées sur un film isolant souple, et un film conducteur anisotrope consistant en une plaque de châssis pourvue d’une pluralité d’ouvertures et d’une pluralité de films conducteurs anisotropes élastiques disposés et supportés sur ce châssis de façon à refermer les ouvertures respectives et aménagé sur la surface arrière de la sonde en forme de feuille, où chaque ouverture de la plaque de châssis dans la sonde en forme de feuille est suffisante pour recevoir le contour du film conducteur anisotrope élastique dans le sens du plan.
(JA) 直径が8インチ以上で被検査電極のピッチが極めて小さいウエハでも、良好な電気的接続状態が確実に達成され、温度変化による位置ずれが防止され、良好な電気的接続状態が安定に維持される探針部材、プローブカードおよびウエハ検査装置が開示されている。  本発明の探針部材は、複数の開口が形成された金属よりなるフレーム板、およびその表面に、それぞれ開口を塞ぐよう配置されて支持された複数の接点膜よりなり、接点膜の各々は、柔軟な絶縁膜に複数の電極構造体が配置されてなるシート状プローブと、複数の開口が形成されたフレーム板、およびこのフレーム板に、それぞれ一の開口を塞ぐよう配置されて支持された複数の弾性異方導電膜よりなり、シート状プローブの裏面に配置された異方導電性コネクターとを有し、シート状プローブにおけるフレーム板の開口の各々は、弾性異方導電膜における面方向の外形を受容し得る大きさとされている。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)