WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2006046649) DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT ET DISPOSITIF DE ROTATION DE SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/046649    N° de la demande internationale :    PCT/JP2005/019795
Date de publication : 04.05.2006 Date de dépôt international : 27.10.2005
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    28.08.2006    
CIB :
H01L 21/683 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome Minato-ku, Tokyo 107-8481 (JP) (Tous Sauf US).
TANAKA, Sumi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
SUZUKI, Kouki [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : TANAKA, Sumi; (JP).
SUZUKI, Kouki; (JP)
Mandataire : YOSHITAKE, Kenji; Kyowa Patent & Law Office Room 323, Fuji Bldg. 2-3, Marunouchi 3-chome Chiyoda-ku, Tokyo 100-0005 (JP)
Données relatives à la priorité :
2004-313919 28.10.2004 JP
Titre (EN) SUBSTRATE TREATING DEVICE AND SUBSTRATE ROTATING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT ET DISPOSITIF DE ROTATION DE SUBSTRAT
(JA) 基板処理装置および基板回転装置
Abrégé : front page image
(EN)A substrate treating device and a substrate rotating device. The substrate rotating device comprises a rotatably driven body (11) connected to substrate supporting bodies (12, 13, 14) and a rotatingly driving body (10) rotatingly driving the rotatingly driven body (11) by rotating in the state of coming into contact with the rotatingly driven body (11). The rotatingly driven body (11) and the rotatingly driving body (10) are formed of a ceramics material.
(FR)Il est décrit un dispositif de traitement de substrat et un dispositif de rotation de substrat. Le dispositif de rotation de substrat comprend un corps entraîné en rotation (11) raccordé à des corps de support de substrat (12, 13, 14) et un corps entraîné en rotation (10) entraînant en rotation le corps entraîné en rotation (11) par rotation lors de l'entrée en contact avec le corps entraîné en rotation (11). Le corps entraîné en rotation (11) et le corps entraîné en rotation (10) sont formés d'un matériau céramique.
(JA)not available
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)