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1. (WO2006046495) HOMOGENEISEUR DE FAISCEAU, ET PROCEDE D’IRRADIATION AU LASER, APPAREIL D’IRRADIATION AU LASER ET PROCEDE DE RECUIT AU LASER D’UN FILM SEMICONDUCTEUR NON MONOCRISTALLIN L’UTILISANT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/046495    N° de la demande internationale :    PCT/JP2005/019447
Date de publication : 04.05.2006 Date de dépôt international : 18.10.2005
CIB :
G02B 27/09 (2006.01), H01L 21/268 (2006.01)
Déposants : SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD. [JP/JP]; 398, Hase, Atsugi-shi,, Kanagawa 2430036 (JP) (Tous Sauf US).
TANAKA, Koichiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
OMATA, Takatsugu [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : TANAKA, Koichiro; (JP).
OMATA, Takatsugu; (JP)
Données relatives à la priorité :
2004-311919 27.10.2004 JP
Titre (EN) BEAM HOMOGENIZER, AND LASER IRRADIATION METHOD, LASER IRRADIATION APPARATUS, AND LASER ANNEALING METHOD OF NON-SINGLE CRYSTALLINE SEMICONDUCTOR FILM USING THE SAME
(FR) HOMOGENEISEUR DE FAISCEAU, ET PROCEDE D’IRRADIATION AU LASER, APPAREIL D’IRRADIATION AU LASER ET PROCEDE DE RECUIT AU LASER D’UN FILM SEMICONDUCTEUR NON MONOCRISTALLIN L’UTILISANT
Abrégé : front page image
(EN)A rectangular beam having the energy density distribution homogenized in its short-side direction is formed in a beam homogenizer wherein two light reflection surfaces are parallel-provided in a beam progression optical waveguide with a predetermined space so as to face each other at surfaces along the beam progression direction and a course change reflection surface for changing the beam progression direction is formed at a surface in the direction intersected with the light reflection surfaces. The beam enters a cylindrical lens array and a cylindrical lens sequentially to homogenize the energy density distribution in its long-side direction. Then, the irradiation laser from the cylindrical lens is projected onto a non-single crystalline semiconductor film to perform annealing.
(FR)L’invention concerne un homogénéiseur de faisceau dans lequel est formé un faisceau rectangulaire dont la distribution des densités d’énergie est homogénéisée dans la direction de son petit côté, ledit homogénéiseur de faisceau étant caractérisé en ce que deux surfaces réfléchissant la lumière sont placées en parallèle dans un guide d’ondes optiques de propagation du faisceau et séparées d’une distance prédéterminée de façon à être en regard l’une de l’autre au niveau de surfaces le long de la direction de propagation du faisceau, et en ce qu’une surface réfléchissante de modification de trajet destinée à modifier la direction de propagation du faisceau est formée au niveau d’une surface dans la direction coupant les surfaces réfléchissant la lumière. Le faisceau pénètre successivement dans un réseau de lentilles cylindriques et une lentille cylindrique de façon à homogénéiser la distribution de densités d’énergie dans la direction de son petit côté. Le laser d’irradiation émanant de la lentille cylindrique est ensuite projeté sur un film semiconducteur non monocristallin pour réaliser un recuit.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)