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1. (WO2006044725) PROCEDE ET APPAREIL DE PRODUCTION DE PARTICULES CHARGEES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/044725    N° de la demande internationale :    PCT/US2005/037132
Date de publication : 27.04.2006 Date de dépôt international : 18.10.2005
CIB :
B05D 1/06 (2006.01), B05B 5/025 (2006.01)
Déposants : MSP CORPORATION [US/US]; 5910 Rice Creek Parkway, Suite 300, Shoreview, MN 55126 (US) (Tous Sauf US).
DICK, William [US/US]; (US) (US Seulement).
LIU, Benjamin, Y.H. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : DICK, William; (US).
LIU, Benjamin, Y.H.; (US)
Mandataire : SAWICKI, Peter, Z.; Westman, Champlin & Kelly, P.A., Suite 1400, International Centre, 900 Second Avenue South, Minneapolis, MN 55402-3319 (US)
Données relatives à la priorité :
60/619,734 18.10.2004 US
11/252,252 17.10.2005 US
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR GENERATING CHARGED PARTICLES
(FR) PROCEDE ET APPAREIL DE PRODUCTION DE PARTICULES CHARGEES
Abrégé : front page image
(EN)A method for establishing a calibrating standard for wafer inspection includes depositing solid ionized particles of a known size range with an aerosol onto a wafer. The method also includes depositing particles onto a wafer in a deposition chamber by using an aerosol stream and the solid particles suspended in a gas; ionizing the aerosol stream with a negative or positive charge polarity or both by passing the aerosol stream through a non-radioactive ionizer 40 to produce charged particles and supplying such aerosol stream to the deposition chamber. An apparatus 110 for producing charged particles includes an atomizer 10 and a non-radioactive ionizer 40 in fluid communication with each other. The apparatus 110 may also include an electrospray droplet generator for producing an aerosol with dry-solid particles and an ionizer that ionizes the molecules of the gas. The apparatus may also include a generator for generating an aerosol with particles suspended in the gas with a non-radioactive ionizer 40 that ionizes the gas in the aerosol causing the aerosol particles to be charged. The apparatus 110 may further include an electrostatic classifier for classifying the charged particles to a selected size range.
(FR)L'invention concerne un procédé permettant d'établir une norme de calibrage pour l'inspection de plaquettes. Ce procédé consiste à déposer des particules ionisées solides, de dimensions comprises dans une fourchette déterminée, sur une plaquette au moyen d'un aérosol. Ce procédé consiste également à déposer des particules sur une plaquette dans une chambre de dépôt, au moyen d'un flux aérosol et de particules solides en suspension dans un gaz; à ioniser le flux aérosol par une polarité de charge négative ou positive ou les deux, en faisant passer le flux aérosol dans un ionisateur non radioactif (40) afin de produire des particules chargées; et à acheminer le flux aérosol vers la chambre de dépôt. Un appareil (110) servant à produire des particules chargées comprend un pulvérisateur (10) et un ionisateur non radioactif (40) en communication de fluide l'un avec l'autre. Ledit appareil (110) peut également comprendre un générateur de gouttelettes en électronébulisation servant à produire un aérosol avec des particules sèches solides et un ionisateur destiné à ioniser les molécules du gaz. Cet appareil peut encore comprendre un générateur servant à produire un aérosol avec des particules en suspension dans le gaz au moyen d'un ionisateur non radioactif (40) destiné à ioniser le gaz contenu dans l'aérosol, ce qui produit des particules d'aérosol chargées. Ledit appareil (110) peut enfin comprendre un classificateur électrostatique servant à classifier les particules chargées dans une fourchette de dimensions déterminée.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)