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1. (WO2006044426) PROCEDES ET SYSTEMES INFORMATIQUES DE CLASSIFICATION DES DEFAUTS DECELES SUR UN SPECIMEN
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/044426    N° de la demande internationale :    PCT/US2005/036598
Date de publication : 27.04.2006 Date de dépôt international : 12.10.2005
CIB :
G06F 15/00 (2006.01), G06K 9/00 (2006.01), G01N 21/00 (2006.01), G01N 23/00 (2006.01)
Déposants : KLA-TENCOR TECHNOLOGIES CORP. [US/US]; One Technology Dr., Milpitas, CA 95035 (US) (Tous Sauf US).
TEH, Cho, Huak [SG/US]; (US) (US Seulement).
TORELLI, Tommaso [US/US]; (US) (US Seulement).
DAVID, Dominic [IN/IN]; (IN) (US Seulement).
YEUNG, Chiuman [CN/US]; (US) (US Seulement).
SCOTT, Michael, Gordon [US/US]; (US) (US Seulement).
BALASUBRAMANIAN, Lalita, A. [US/US]; (US) (US Seulement).
GAO, Lisheng [US/US]; (US) (US Seulement).
HUANG, Tong [CN/US]; (US) (US Seulement).
ZHANG, Jianxin [CN/US]; (US) (US Seulement).
KOWALSKI, Michal [PL/US]; (US) (US Seulement).
OAKLEY, Jonathan [GB/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : TEH, Cho, Huak; (US).
TORELLI, Tommaso; (US).
DAVID, Dominic; (IN).
YEUNG, Chiuman; (US).
SCOTT, Michael, Gordon; (US).
BALASUBRAMANIAN, Lalita, A.; (US).
GAO, Lisheng; (US).
HUANG, Tong; (US).
ZHANG, Jianxin; (US).
KOWALSKI, Michal; (US).
OAKLEY, Jonathan; (US)
Mandataire : MEWHERTER, Ann, Marie; Daffer McDaniel, LLP, P.O. Box 684908, Austin, TX 78768-4908 (US)
Données relatives à la priorité :
60/618,475 12.10.2004 US
Titre (EN) COMPUTER-IMPLEMENTED METHODS AND SYSTEMS FOR CLASSIFYING DEFECTS ON A SPECIMEN
(FR) PROCEDES ET SYSTEMES INFORMATIQUES DE CLASSIFICATION DES DEFAUTS DECELES SUR UN SPECIMEN
Abrégé : front page image
(EN)Various computer-implemented methods for classifying defects on a specimen are provided. One method includes assigning individual defects detected on the specimen to defect groups based on one or more characteristics of the individual defects. The method also includes displaying information about the defect groups to a user. In addition, the method includes allowing the user to assign a classification to each of the defect groups. Systems configured to classify defects on a specimen are also provided. One system includes program instructions executable on a processor for assigning individual defects detected on the specimen to defect groups based on one or more characteristics of the individual defects. The system also includes a user interface configured for displaying information about the defect groups to a user and allowing the user to assign a classification to each of the defect groups.
(FR)Cette invention concerne diverses procédés informatiques permettant de classer les défauts d'un spécimen. Un procédé donné consiste à classer des défauts individuels détectés sur un spécimen dans des groupes de défauts sur la base d'une ou de plusieurs caractéristiques de défauts individuels. Le procédé consiste également à afficher des informations sur les groupes de défauts pour un utilisateur. De plus, ce procédé permet à l'utilisateur de classer chacun des groupes de défauts. Sont également décrits des systèmes de classification des défauts d'un spécimen. Un système particulier comprend des instructions de programme exécutables sur un processeur pour l'attribution de défauts individuels détectés sur le spécimen à des groupes de défauts sur la base d'une ou de plusieurs caractéristiques de défauts individuels. Enfin, ce système comprend une interface utilisateur conçue pour afficher des informations sur les groupes de défauts à l'intention d'un utilisateur et pour permettre à ce dernier d'introduire une classification dans chacun des groupes de défauts.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)