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1. (WO2006043723) SOURCE D’EVAPORATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/043723    N° de la demande internationale :    PCT/JP2005/019746
Date de publication : 27.04.2006 Date de dépôt international : 20.10.2005
CIB :
C23C 14/24 (2006.01)
Déposants : FUTABA CORPORATION [JP/JP]; 629 Oshiba, Mobara-shi, Chiba 2970033 (JP) (Tous Sauf US).
FUKUDA, Tatsuo [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : FUKUDA, Tatsuo; (JP)
Mandataire : KAWASAKI, Takao; Ishii Bldg., 3F 1-10, Shimbashi 3-chome Minato-ku, Tokyo 1050004 (JP)
Données relatives à la priorité :
2004-307474 21.10.2004 JP
Titre (EN) EVAPORATION SOURCE
(FR) SOURCE D’EVAPORATION
(JA) 蒸発源装置
Abrégé : front page image
(EN)An evaporation source comprising a melting section (24), a storing section (21), an evaporating section (22), and a jetting section (23). When current is passed through tubular heaters (241, 211), they generate heat and a linear evaporation material (31) is melted. Molten evaporation material (32) moves from a heating container (242) to a heating container (212) and stays there. The evaporation material (32) in the heating container (212) descends from a descending opening (216) along a descending column (224). During the descending process, the evaporation material (32) is evaporated by radiation heat from a tubular heater (221). The vapor of the evaporation material (32) is jetted from a nozzle (232) toward a substrate (61). The tubular heaters (241, 211, 221, 231) are composed of graphite and generate heat when a voltage is applied between electrodes (213, 214), (214, 222), and (232, 233).
(FR)L’invention concerne une source d’évaporation comprenant une partie de fusion (24), une partie de stockage (21), une partie d’évaporation (22) et une partie d’éjection (23). Lorsque du courant circule dans des éléments chauffants tubulaires (241, 211), ceux-ci génèrent de la chaleur qui fait fondre une matière d’évaporation linéaire (31). La matière d’évaporation linéaire fondue (32) passe d’un réceptacle chauffant (242) à un réceptacle chauffant (212) où elle séjourne. La matière d’évaporation (32) dans le réceptacle chauffant (212) descend par une ouverture de descente (216) le long d’une colonne de descente (224). Pendant la descente, la matière d’évaporation (32) s’évapore par la chaleur rayonnée par un élément chauffant tubulaire (221). La vapeur de la matière d’évaporation (32) est éjectée par une buse (232) en direction d’un substrat (61). Les éléments chauffants tubulaires (241, 211, 221, 231) sont composés de graphite et génèrent de la chaleur lorsqu’une tension est appliquée entre des électrodes (213, 214), (214, 222) et (232, 233).
(JA) 蒸発源装置は、溶融部24、滞留部21、蒸発部22、噴射部23からなる。筒状発熱体241,211に通電すると発熱し、線状の蒸発材料31を溶融する。溶融した蒸発材料32は、加熱容器242から加熱容器212へ移動して滞留する。加熱容器212の蒸発材料32は、降下用開口216から降下用柱状体224を伝って降下する。その降下の過程で蒸発材料32は、筒状発熱体221の放射熱によって蒸発する。蒸発材料32の蒸気は、ノズル232から基板61へ噴射する。筒状発熱体241,211,221,231は、グラファイトからなり、電極213と214,214と222,232と233に電圧を印加すると発熱する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)