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1. (WO2006043645) SONDE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CELLE-CI
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/043645    N° de la demande internationale :    PCT/JP2005/019335
Date de publication : 27.04.2006 Date de dépôt international : 20.10.2005
CIB :
G01R 1/067 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1078481 (JP) (Tous Sauf US).
HOSHINO, Tomohisa [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
YAMANISHI, Yoshiki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
HASHIMOTO, Hiroyuki [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : HOSHINO, Tomohisa; (JP).
YAMANISHI, Yoshiki; (JP).
HASHIMOTO, Hiroyuki; (JP)
Mandataire : ITOH, Hidehiko; IMY INTERNATIONAL PATENT OFFICE Kyowa Shimanouchi Bldg. 21-19, Shimanouchi 1-chome Chuo-ku Osaka-shi, Osaka 5420082 (JP)
Données relatives à la priorité :
2004-308132 22.10.2004 JP
Titre (EN) PROBE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
(FR) SONDE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CELLE-CI
(JA) プローブおよびその製造方法
Abrégé : front page image
(EN)A probe and a method of manufacturing the probe. The probe (20) comprises a cantilever (21), a columnar part (22), and a tip part (23). The columnar part (22) is formed to be cantilevered at one end of the cantilever (21), and the tip part (23) is formed at the tip of the columnar part (22). The height of the columnar part (22) is set larger than that of the tip part (23), and the height of the columnar part (22) and the tip part (23) is selected to be twice the width thereof or higher.
(FR)L'invention concerne une sonde et un procédé de fabrication de celle-ci. La sonde (20) comprend une console (21), une partie colonnaire (22) et une partie d'extrémité (23). La partie colonnaire (22) est formée pour être mise en porte-à-faux à une extrémité de la console (21) et la partie d'extrémité (23) est formée à l'extrémité de la partie colonnaire (22). On fixe la hauteur de la partie colonnaire (22) à une valeur supérieure à celle de la partie d'extrémité (23) et on choisit pour la hauteur de la partie colonnaire (22) et de la partie d'extrémité (23) une valeur double de leur largeur ou supérieure.
(JA) プローブ針20は、カンチレバー21と、柱状部22と、頂部23とを含み、柱状部22はカンチレバー21の一端に、片持ち支持されるように形成されており、柱状部22の先端に頂部23が形成されている。柱状部22の高さが頂部23の高さよりも高く形成され、柱状部22と頂部23との高さが、幅に比べて2倍以上となるように選ばれている。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)